| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-14页 |
| ·前言 | 第9页 |
| ·研究的意义 | 第9-10页 |
| ·激光标刻的发展进程 | 第10-12页 |
| ·掩模式打标 | 第10-11页 |
| ·阵列式打标 | 第11页 |
| ·扫描式打标 | 第11-12页 |
| ·激光标刻的现状 | 第12-13页 |
| ·主要工作及内容安排 | 第13-14页 |
| 第二章 激光标刻系统总述 | 第14-24页 |
| ·系统总体构架设计 | 第14-16页 |
| ·机械系统 | 第15页 |
| ·光路系统 | 第15页 |
| ·控制系统 | 第15-16页 |
| ·自动对焦系统 | 第16页 |
| ·系统器件选择及工作原理 | 第16-23页 |
| ·光纤激光器 | 第16-18页 |
| ·二维扫描振镜 | 第18-19页 |
| ·伺服电机 | 第19-20页 |
| ·步进电机 | 第20-21页 |
| ·光栅尺 | 第21-22页 |
| ·数字显微镜 | 第22-23页 |
| ·系统软件简介 | 第23页 |
| ·本章小结 | 第23-24页 |
| 第三章 DSP 运动控制卡设计与实现 | 第24-36页 |
| ·DSP 运动控制卡设计框图 | 第24-25页 |
| ·主芯片选择 | 第25页 |
| ·伺服闭环系统 | 第25-32页 |
| ·伺服系统控制方式 | 第25-26页 |
| ·伺服电机接口单元 | 第26-27页 |
| ·伺服PID 三环滤波控制算法设计 | 第27-30页 |
| ·大动态扫描算法设计 | 第30-32页 |
| ·步进电机控制模块 | 第32-34页 |
| ·步进电机控制模块设计 | 第32页 |
| ·步进电机接口单元 | 第32-33页 |
| ·步进电机的加减速控制算法设计 | 第33-34页 |
| ·光栅尺采集模块 | 第34-35页 |
| ·光栅尺采集模块设计 | 第34页 |
| ·光栅尺细分算法设计 | 第34-35页 |
| ·本章小结 | 第35-36页 |
| 第四章 激光标刻控制卡设计与实现 | 第36-47页 |
| ·激光标刻控制卡设计框图 | 第36-37页 |
| ·主芯片的选择 | 第37页 |
| ·振镜控制模块 | 第37-41页 |
| ·振镜控制模块设计 | 第37-38页 |
| ·二维激光扫描振镜接口单元 | 第38页 |
| ·振镜运动插补算法设计 | 第38-41页 |
| ·激光器控制模块 | 第41-45页 |
| ·激光器控制模块设计 | 第41页 |
| ·SPI 光纤激光器控制接单元 | 第41-42页 |
| ·振镜位矢扫描激光延时算法设计 | 第42-45页 |
| ·DRAM 外部存储模块设计 | 第45-46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 第五章 软件设计与实现 | 第47-63页 |
| ·软件简介 | 第47-48页 |
| ·集成开发环境CCS（Code Composer Studio） | 第47页 |
| ·Quartus II 软件简介 | 第47-48页 |
| ·DSP 运动控制卡软件设计与实现 | 第48-55页 |
| ·DSP 运动控制卡的软件设计流程 | 第48-49页 |
| ·光栅尺数据采集模块软件设计与实现 | 第49-50页 |
| ·伺服PID 三环滤波器软件设计与实现 | 第50-52页 |
| ·步进电机加减速算法软件设计与实现 | 第52-54页 |
| ·应用软件参数调节 | 第54-55页 |
| ·激光标刻控制卡软件设计与实现 | 第55-60页 |
| ·激光标刻控制卡软件设计流程 | 第55-56页 |
| ·插补算法软件设计与实现 | 第56-59页 |
| ·应用软件参数设置 | 第59-60页 |
| ·精度分析 | 第60-62页 |
| ·运动平台的定位精度分析 | 第60页 |
| ·激光打标质量分析 | 第60-62页 |
| ·标刻机技术性能 | 第62页 |
| ·本章小结 | 第62-63页 |
| 第六章 总结和展望 | 第63-64页 |
| ·总结 | 第63页 |
| ·展望 | 第63-64页 |
| 致谢 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-68页 |
| 攻硕期间所取得的成果 | 第68-69页 |
| 附录 | 第69-71页 |