| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 目录 | 第8-11页 |
| 图表目录 | 第11-14页 |
| 1 绪论 | 第14-36页 |
| 1.1 研究背景 | 第14-15页 |
| 1.1.1 激光在工业领域的应用 | 第14页 |
| 1.1.2 激光在医疗领域的应用 | 第14-15页 |
| 1.1.3 激光在军事领域的应用 | 第15页 |
| 1.2 研究意义 | 第15-16页 |
| 1.3 研究现状 | 第16-35页 |
| 1.3.1 激光对半导体材料热熔损伤研究进展 | 第16-27页 |
| 1.3.2 激光致半导体材料产生热应力研究进展 | 第27-30页 |
| 1.3.3 激光致材料表面产生裂纹研究进展 | 第30-32页 |
| 1.3.4 激光在CIGS薄膜太阳能电池划线中应用进展 | 第32-35页 |
| 1.4 本文的主要研究工作 | 第35-36页 |
| 2 激光对半导体材料的熔融损伤研究 | 第36-58页 |
| 2.1 半导体材料对激光的吸收机制 | 第36-39页 |
| 2.1.1 本征吸收 | 第37页 |
| 2.1.2 自由载流子吸收 | 第37-38页 |
| 2.1.3 晶格吸收 | 第38页 |
| 2.1.4 激子吸收 | 第38页 |
| 2.1.5 杂质吸收 | 第38页 |
| 2.1.6 结论 | 第38-39页 |
| 2.2 不同脉宽激光作用下硅材料的熔融损伤阈值 | 第39-50页 |
| 2.2.1 激光加热硅材料的物理模型 | 第39-41页 |
| 2.2.2 有限元计算模型 | 第41-47页 |
| 2.2.3 实验测量 | 第47-50页 |
| 2.3 毫秒激光对不同半导体材料的熔融损伤阈值分析 | 第50-51页 |
| 2.4 不同脉宽激光作用下硅表面损伤形貌比较 | 第51-57页 |
| 2.4.1 表面损伤形貌实验结果 | 第52-54页 |
| 2.4.2 表面波纹 | 第54-55页 |
| 2.4.3 激光诱导产生等离子体光谱测量 | 第55-57页 |
| 2.5 本章小结 | 第57-58页 |
| 3 毫秒激光致硅材料产生热应力研究 | 第58-69页 |
| 3.1 计算模型和计算方法 | 第58-63页 |
| 3.1.1 计算模型 | 第58-59页 |
| 3.1.2 热应力有限元解法 | 第59-62页 |
| 3.1.3 材料参数 | 第62-63页 |
| 3.2 热应力有限元计算结果 | 第63-67页 |
| 3.2.1 温度场结果验证 | 第63-64页 |
| 3.2.2 温度场分布 | 第64-65页 |
| 3.2.3 应力场分布 | 第65-67页 |
| 3.3 实验结果及讨论 | 第67-68页 |
| 3.4 本章小结 | 第68-69页 |
| 4 毫秒激光致硅表面产生裂纹研究 | 第69-78页 |
| 4.1 解理裂纹 | 第70-72页 |
| 4.1.1 解理裂纹形貌 | 第70页 |
| 4.1.2 解理裂纹产生机理分析 | 第70-72页 |
| 4.2 径向裂纹 | 第72-74页 |
| 4.2.1 径向裂纹形貌 | 第72页 |
| 4.2.2 径向裂纹产生机理分析 | 第72-74页 |
| 4.3 环形裂纹 | 第74-76页 |
| 4.3.1 环形裂纹形貌 | 第74-75页 |
| 4.3.2 环形裂纹产生机理分析 | 第75-76页 |
| 4.4 裂纹扩展讨论 | 第76-77页 |
| 4.5 本章小结 | 第77-78页 |
| 5 激光对CIGS薄膜太阳能电池划线研究 | 第78-101页 |
| 5.1 激光对CIGS电池划线机理研究 | 第78-83页 |
| 5.1.1 激光对CIGS电池正面直接烧蚀划线机理 | 第79-82页 |
| 5.1.2 激光对CIGS电池背面烧蚀划线机理 | 第82-83页 |
| 5.2 激光对CIGS电池划线实验装置 | 第83-84页 |
| 5.2.1 激光对CIGS电池正面烧蚀划线 | 第83页 |
| 5.2.2 激光对CIGS电池背面烧蚀划线 | 第83-84页 |
| 5.2.3 锁相热成像技术检测局部分流 | 第84页 |
| 5.3 不同激光对CIGS电池划线质量比较 | 第84-91页 |
| 5.3.1 1064nm皮秒激光对CIGS电池正面烧蚀划线 | 第85-87页 |
| 5.3.2 1064nm纳秒激光对CIGS电池正面烧蚀划线 | 第87-88页 |
| 5.3.3 248nm纳秒激光对CIGS电池背面烧蚀划线 | 第88-90页 |
| 5.3.4 EDX测试 | 第90-91页 |
| 5.3.5 三种激光划线质量比较 | 第91页 |
| 5.4 激光划线质量对CIGS薄膜太阳能电池电学性能影响 | 第91-99页 |
| 5.4.1 激光同心嵌套圆划线技术 | 第92-97页 |
| 5.4.2 激光划线参数优化 | 第97-98页 |
| 5.4.3 缺陷隔离 | 第98-99页 |
| 5.5 本章小结 | 第99-101页 |
| 6 总结与展望 | 第101-103页 |
| 6.1 总结 | 第101页 |
| 6.2 展望 | 第101-103页 |
| 致谢 | 第103-104页 |
| 参考文献 | 第104-117页 |
| 附录 | 第117-118页 |
