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基于MEMS技术的ZnO紫外线传感器喷墨直写工艺的研究

摘要第3-5页
Abstract第5-6页
第1章 绪论第10-17页
    1.1 研究背景以及意义第10-12页
    1.2 喷墨直写工艺发展以及应用第12-13页
        1.2.1 喷墨直写工艺的发展第12页
        1.2.2 喷墨直写工艺的应用第12-13页
    1.3 研究现状第13-14页
    1.4 论文的的主要工作与内容安排第14-17页
第2章 喷墨直写工艺第17-32页
    2.1 喷墨直写工艺的分类第17-25页
        2.1.1 连续型喷墨直写工艺第19-20页
        2.1.2 按需型喷墨直写工艺第20-25页
    2.2 喷墨直写工艺过程第25-28页
        2.2.1 液滴喷出和液滴飞行第26-27页
        2.2.2 液滴撞击和铺展第27页
        2.2.3 液滴的凝固和退火第27-28页
    2.3 典型图案化工艺第28-32页
        2.3.1 光刻技术第28-29页
        2.3.2 微接触印刷技术第29-30页
        2.3.3 丝网印刷技术第30页
        2.3.4 典型图案化工艺对比第30-32页
第3章 喷墨直写功能性常见材料及其临界参数第32-37页
    3.1 可喷墨直写功能性“墨水”的性能要求及临界参数第32-33页
        3.1.1 可喷墨直写“墨水”的性能要求第32-33页
        3.1.2 可喷墨直写“墨水”的临界参数第33页
    3.2 常见可喷墨直写材料第33-37页
        3.2.1 无机材料第34-35页
        3.2.2 有机材料第35-37页
第4章 可喷墨直写ZnO紫外线传感器的制作分析第37-48页
    4.1 可喷墨直写“墨水”与喷墨直写系统的分析第37-42页
        4.1.1 可喷墨直写“墨水”的分析第37-41页
        4.1.2 喷墨直写系统的分析第41页
        4.1.3 可喷墨直写ZnO“墨水”的制备第41-42页
    4.2 紫外线传感器衬底的分析第42-44页
        4.2.1 纸的特性第42-43页
        4.2.2 纸作为衬底的可行性第43-44页
        4.2.3 走纸方式对喷墨直写工艺的影响第44页
    4.3 紫外线传感器电极分析第44-46页
        4.3.1 低成本石墨电极的电阻率第45-46页
        4.3.2 低成本石墨电极的IV曲线第46页
    4.4 ZnO紫外线传感器的制作方案第46-48页
第5章 可喷墨直写ZnO紫外线传感器的制作与表征第48-62页
    5.1 ZnO紫外线传感器的制作和实验第48-50页
        5.1.1 制作过程第48-49页
        5.1.2 实验第49-50页
    5.2 形貌表征第50-52页
        5.2.1 光学显微镜形貌表征第50-51页
        5.2.2 SEM形貌表征第51-52页
    5.3 喷墨直写工艺的各参数对ZnO薄膜电阻的影响第52-56页
        5.3.1 ZnO薄膜电阻测试方法第52-53页
        5.3.2 ZnO薄膜电阻和喷墨直写次数的关系第53-54页
        5.3.3 ZnO薄膜电阻与其长度、宽度的关系第54-56页
        5.3.4 薄膜电阻与退火温度的关系第56页
    5.4 ZnO紫外线传感器的光敏特性第56-59页
        5.4.1 紫外线传感器I-V光敏反应第56-57页
        5.4.2 脉冲紫外光下紫外线传感器随时间变化的光敏反应第57-58页
        5.4.3 有ZnO和没有ZnO的紫外线传感器的I-V光敏反应第58-59页
        5.4.4 紫外线传感器在不同强度下的紫外线的光敏反应第59页
    5.5 ZnO紫外线传感器的工作原理第59-60页
    5.6 结果讨论第60-62页
第6章 结论与展望第62-64页
参考文献第64-70页
致谢第70页

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