| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第12-26页 |
| 1.1 微电子机械系统(MEMS) | 第12-13页 |
| 1.1.1 MEMS的定义 | 第12页 |
| 1.1.2 MEMS的发展及应用 | 第12-13页 |
| 1.1.3 MEMS未来的发展趋势 | 第13页 |
| 1.2 MEMS微波功率传感技术的研究现状 | 第13-19页 |
| 1.2.1 终端式微波功率传感器 | 第14-16页 |
| 1.2.2 在线式微波功率传感器 | 第16-18页 |
| 1.2.3 MEMS微波功率传感器的比较 | 第18-19页 |
| 1.3 微波频率检测技术的研究现状 | 第19-23页 |
| 1.3.1 计数法微波频率计 | 第19页 |
| 1.3.2 光子法微波频率计 | 第19-21页 |
| 1.3.3 可重构整流天线法微波频率计 | 第21-22页 |
| 1.3.4 矢量合成法微波频率计 | 第22-23页 |
| 1.4 本论文的主要工作 | 第23-25页 |
| 1.4.1 目前存在的问题 | 第23页 |
| 1.4.2 主要研究工作 | 第23-25页 |
| 1.4.3 主要创新点 | 第25页 |
| 1.5 本章小结 | 第25-26页 |
| 第二章 微波功率分配器的研究 | 第26-38页 |
| 2.1 功率分配器的原理 | 第26页 |
| 2.2 一分二功率分配器及其缩小结构的设计与模拟 | 第26-30页 |
| 2.3 一分二功率分配器及其缩小结构的制备及测试 | 第30-34页 |
| 2.4 一分三功率分配器的设计与模拟 | 第34-37页 |
| 2.5 本章小结 | 第37-38页 |
| 第三章 MEMS微波功率传感器的研究 | 第38-77页 |
| 3.1 热电式MEMS微波功率传感器 | 第38-57页 |
| 3.1.1 热电式MEMS微波功率传感器的二维热传导模型 | 第38-45页 |
| 3.1.2 热电式MEMS微波功率传感器的制备与测试 | 第45-47页 |
| 3.1.3 热电式MEMS微波功率传感器的温湿度效应 | 第47-54页 |
| 3.1.4 频率补偿式的热电式MEMS微波功率传感器 | 第54-57页 |
| 3.2 电容式MEMS微波功率传感器 | 第57-69页 |
| 3.2.1 电容式MEMS微波功率传感器的一维模型 | 第57-63页 |
| 3.2.2 电容式MEMS微波功率传感器的制备与测试 | 第63-69页 |
| 3.3 级联式MEMS微波功率传感器 | 第69-76页 |
| 3.3.1 级联式MEMS微波功率传感器的设计与模拟 | 第69-73页 |
| 3.3.2 级联式MEMS微波功率传感器的制备与测试 | 第73-76页 |
| 3.4 本章小结 | 第76-77页 |
| 第四章 MEMS微波频率检测器的研究 | 第77-100页 |
| 4.1 一分二式MEMS微波频率检测器 | 第77-85页 |
| 4.1.1 一分二式MEMS微波频率检测器的设计与模拟 | 第77-81页 |
| 4.1.2 一分二式MEMS微波频率检测器的制备、测试与封装 | 第81-85页 |
| 4.2 一分三式MEMS微波频率检测器 | 第85-91页 |
| 4.2.1 一分三式MEMS微波频率检测器的设计与模拟 | 第86-89页 |
| 4.2.2 一分三式MEMS微波频率检测器的制备与测试 | 第89-91页 |
| 4.3 在线式MEMS微波频率检测器 | 第91-99页 |
| 4.3.1 在线式MEMS微波频率检测器的设计与模拟 | 第91-97页 |
| 4.3.2 在线式MEMS微波频率检测器的制备与测试 | 第97-99页 |
| 4.4 本章小结 | 第99-100页 |
| 第五章 S参数模型的研究 | 第100-125页 |
| 5.1 传输线参数的分析提取 | 第100-110页 |
| 5.1.1 CPW传输线 | 第100-104页 |
| 5.1.2 ACPS传输线 | 第104-106页 |
| 5.1.3 边缘耦合的CPW传输线 | 第106-110页 |
| 5.2 功分器的S参数模型 | 第110-115页 |
| 5.3 一分二式MEMS微波频率检测器的S参数模型 | 第115-119页 |
| 5.4 一分三式MEMS微波频率检测器的S参数模型 | 第119-124页 |
| 5.5 本章小结 | 第124-125页 |
| 第六章 总结与展望 | 第125-127页 |
| 6.1 本论文研究工作的总结 | 第125-126页 |
| 6.2 未来研究工作展望 | 第126-127页 |
| 致谢 | 第127-128页 |
| 参考文献 | 第128-133页 |
| 图表索引 | 第133-138页 |
| 在学期间发表的论文和取得的学术成果 | 第138-139页 |
