| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第一章 引言 | 第9-17页 |
| 1.1 缓蚀剂的分类及结构特征 | 第9-10页 |
| 1.1.1 缓蚀剂的分类 | 第9-10页 |
| 1.1.2 缓蚀剂的结构特征 | 第10页 |
| 1.2 缓蚀剂研究现状 | 第10-14页 |
| 1.2.1 缓蚀剂的实验研究现状 | 第10-11页 |
| 1.2.2 缓蚀剂的理论研究现状 | 第11-14页 |
| 1.3 分子模拟技术在固/液界面的研究应用 | 第14-15页 |
| 1.4 选题意义及研究内容 | 第15-17页 |
| 1.4.1 选题意义 | 第15-16页 |
| 1.4.2 研究对象 | 第16页 |
| 1.4.3 研究内容 | 第16-17页 |
| 第二章 噻唑类缓蚀剂浓度对其缓蚀性能影响的分子模拟研究 | 第17-34页 |
| 2.1 引言 | 第17页 |
| 2.2 模型与计算方法 | 第17-19页 |
| 2.2.1 模型构建 | 第18-19页 |
| 2.2.2 模型细节 | 第19页 |
| 2.3 结果与讨论 | 第19-32页 |
| 2.3.1 缓蚀剂在金属表面吸附行为研究 | 第19-22页 |
| 2.3.2 不同浓度对缓蚀剂在金属表面吸附构型的影响 | 第22-25页 |
| 2.3.3 不同浓度对缓蚀剂在金属表面吸附过程的影响 | 第25-28页 |
| 2.3.4 不同浓度下缓蚀剂的缓蚀机理 | 第28-32页 |
| 2.4 小结 | 第32-34页 |
| 第三章 噻唑类缓蚀剂链长对其缓蚀性能影响的分子模拟研究 | 第34-45页 |
| 3.1 引言 | 第34页 |
| 3.2 模型与计算方法 | 第34-36页 |
| 3.2.1 模型构建 | 第35页 |
| 3.2.2 模拟细节 | 第35-36页 |
| 3.3 结果与讨论 | 第36-44页 |
| 3.3.1 链长对缓蚀剂分子的吸附构型影响 | 第36-38页 |
| 3.3.2 缓蚀剂链长对缓蚀剂缓蚀性能的影响 | 第38-41页 |
| 3.3.3 改变金属表面润湿性研究 | 第41-44页 |
| 3.4 结论 | 第44-45页 |
| 第四章 矿化度影响下噻唑类缓蚀剂缓蚀性能的分子模拟研究 | 第45-56页 |
| 4.1 引言 | 第45页 |
| 4.2 模型与计算方法 | 第45页 |
| 4.3 结果与讨论 | 第45-54页 |
| 4.3.1 不同盐浓度下缓蚀剂分子的吸附构型 | 第46-48页 |
| 4.3.2 吸附衰减区研究 | 第48-51页 |
| 4.3.3 吸附转折区研究 | 第51-53页 |
| 4.3.4 吸附增多区研究 | 第53-54页 |
| 4.4 结论 | 第54-56页 |
| 第五章 结论 | 第56-58页 |
| 参考文献 | 第58-64页 |
| 攻读硕士期间取得的学术成果 | 第64-65页 |
| 致谢 | 第65页 |
