温度分布及应力可调的微热板式气体传感器
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-16页 |
| 1.1 气体传感器概述 | 第9-10页 |
| 1.2 微热板式气体传感器研究现状及存在问题 | 第10-13页 |
| 1.2.1 微热板温度分布优化 | 第10-12页 |
| 1.2.2 微热板形变及应力研究现状 | 第12-13页 |
| 1.3 MEMS静电执行器简介 | 第13-15页 |
| 1.4 论文的主要工作 | 第15-16页 |
| 2 温度分布可调的微热板式气体传感器设计 | 第16-26页 |
| 2.1 三加热丝微热板式气体传感器结构设计 | 第16-18页 |
| 2.2 微热板热分析模型 | 第18-19页 |
| 2.3 温度分布调节效果的仿真分析 | 第19-22页 |
| 2.4 微热板加工工艺设计 | 第22-25页 |
| 2.5 本章小结 | 第25-26页 |
| 3 温度分布可调微热板气体传感器测试 | 第26-40页 |
| 3.1 微热板式气体传感器的功耗 | 第26-28页 |
| 3.2 微热板的温度分布梯度 | 第28-29页 |
| 3.3 微热板的热响应 | 第29-30页 |
| 3.4 微热板的形变及应力 | 第30-32页 |
| 3.4.1 微热板热膨胀形变 | 第30-32页 |
| 3.4.2 微热板的应力 | 第32页 |
| 3.5 对乙醇的气敏响应 | 第32-34页 |
| 3.6 不同电阻丝加热传感器对乙醇的响应 | 第34-36页 |
| 3.7 不同电阻丝加热微热板烧毁温度 | 第36-39页 |
| 3.8 本章小结 | 第39-40页 |
| 4 微热板式气体传感器应力调节系统设计与仿真 | 第40-53页 |
| 4.1 静电梳齿执行器基本结构及原理 | 第40-42页 |
| 4.1.1 结构及静电力计算 | 第40-41页 |
| 4.1.2 侧向吸合现象 | 第41-42页 |
| 4.2 器件结构设计 | 第42-43页 |
| 4.3 器件有限元仿真 | 第43-51页 |
| 4.3.1 温度分布特性仿真 | 第44-47页 |
| 4.3.2 器件的形变 | 第47-48页 |
| 4.3.3 SnO_2薄膜应力调节范围 | 第48-51页 |
| 4.4 本章小结 | 第51-53页 |
| 5 微热板应力调节系统加工与测试 | 第53-61页 |
| 5.1 器件的加工 | 第53-55页 |
| 5.2 器件功耗 | 第55-57页 |
| 5.3 传感器的气敏响应 | 第57-59页 |
| 5.4 静电梳齿特性 | 第59-60页 |
| 5.5 本章小结 | 第60-61页 |
| 结论 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-65页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第65-66页 |
| 致谢 | 第66-67页 |
