| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 目录 | 第9-12页 |
| CONTENTS | 第12-15页 |
| 第一章 绪论 | 第15-22页 |
| 1.1 课题研究背景及意义 | 第15-16页 |
| 1.2 直线驱动精密静压气浮平台发展状况 | 第16-18页 |
| 1.3 直线驱动伺服系统控制技术研宄现状 | 第18-20页 |
| 1.4 本课题的来源与主要研究内容 | 第20-22页 |
| 1.4.1 本课题来源 | 第20页 |
| 1.4.2 本课题的主要研宄内容 | 第20-22页 |
| 第二章 气浮平台伺服驱动控制系统建模与分析 | 第22-36页 |
| 2.1 永磁同步直线电机的基本结构 | 第22-23页 |
| 2.2 永磁同步直线电机的d-q轴数学模型 | 第23-24页 |
| 2.3 永磁同步直线电机解親方程 | 第24-25页 |
| 2.4 气浮平台伺服控制系统建模与分析 | 第25-32页 |
| 2.4.1 电流环PI控制器建模 | 第26-28页 |
| 2.4.2 速度环PD控制器建模 | 第28-29页 |
| 2.4.3 位置环PID控制器建模 | 第29-30页 |
| 2.4.4 PID前馈控制器建模 | 第30-32页 |
| 2.5 单轴气浮平台控制系统仿真分析 | 第32-35页 |
| 2.5.1 气浮平台控制系统仿真建模 | 第32-33页 |
| 2.5.2 控制系统仿真结果分析 | 第33-35页 |
| 2.6 本章小结 | 第35-36页 |
| 第三章 气浮平台传统PID参数整定与运动实验研究 | 第36-53页 |
| 3.1 二维龙门式直线驱动精密气浮台实验系统 | 第36-38页 |
| 3.2 TURBO PMAC2 伺月艮I变量 | 第38页 |
| 3.3 基于TURBO PMAC2的PID算法原理 | 第38-40页 |
| 3.4 气浮平台传统PID参数整定 | 第40-44页 |
| 3.5 气浮平台运动实验 | 第44-51页 |
| 3.5.1 不同速度下单轴气浮平台直线运动实验 | 第44-49页 |
| 3.5.2 气浮平台两轴联动圆弧运动实验 | 第49-51页 |
| 3.6 本章小结 | 第51-53页 |
| 第四章 二维龙门式直线驱动精密气浮台MATLAB与ADAMS机电联合仿真研究 | 第53-72页 |
| 4.1 ADAMS+MATLAB机电一体化建模方法概述 | 第53-54页 |
| 4.2 气浮平台机械系统动力学建模 ; 40 | 第54-60页 |
| 4.2.1 ADAMS动力学基本理论 | 第54-55页 |
| 4.2.2 气浮平台动力学建模 | 第55-56页 |
| 4.2.3 气浮平台气膜刚度参数辨识 | 第56-60页 |
| 4.3 机电联合仿真 | 第60-70页 |
| 4.3.1 气浮平台单轴机电联合仿真分析 | 第60-69页 |
| 4.3.2 气浮平台两轴联动机电联合仿真分析 | 第69-70页 |
| 4.4 本章小结 | 第70-72页 |
| 第五章 二维龙门式直线驱动精密气浮台定位精度实验研究 | 第72-88页 |
| 5.1 气浮平台单轴定位精度实验 | 第72-83页 |
| 5.1.1 气浮平台单轴直线运动定位精度实验平台搭建 | 第72-73页 |
| 5.1.2 直线运动轨迹实验方案 | 第73-74页 |
| 5.1.3 实验结果与分析 | 第74-75页 |
| 5.1.4 不同PID增益参数的直线运动定位精度实验 | 第75-79页 |
| 5.1.5 定位精度误差补偿研究与结果分析 | 第79-83页 |
| 5.2 气浮平台两轴联动轨迹精度实验 | 第83-87页 |
| 5.2.1 圆弧运动轨迹精度实验平台搭建 | 第83-84页 |
| 5.2.2 圆弧运动轨迹实验方案 | 第84-85页 |
| 5.2.3 实验结果与分析 | 第85-87页 |
| 5.3 本章小结 | 第87-88页 |
| 总结与展望 | 第88-91页 |
| 参考文献 | 第91-94页 |
| 攻读学位期间发表的论文 | 第94-96页 |
| 致谢 | 第96页 |
