| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第12-26页 |
| 1.1 引言 | 第12-13页 |
| 1.2 氮化硅的结构和性质 | 第13-15页 |
| 1.2.1 氮化硅的晶体结构 | 第13-14页 |
| 1.2.2 氮化硅的各种性质 | 第14-15页 |
| 1.3 氮化硅陶瓷的制备 | 第15-18页 |
| 1.3.1 氮化硅粉体的制备 | 第15-16页 |
| 1.3.2 不同制备方法 | 第16-18页 |
| 1.4 氮化硅陶瓷常用烧结助剂的作用 | 第18-20页 |
| 1.5 氮化硅陶瓷的腐蚀行为 | 第20-21页 |
| 1.5.1 陶瓷的腐蚀 | 第20-21页 |
| 1.5.2 氮化硅材料的腐蚀 | 第21页 |
| 1.6 氮化硅陶瓷的应用 | 第21-23页 |
| 1.6.1 高温结构材料 | 第21-22页 |
| 1.6.2 超声探头材料 | 第22页 |
| 1.6.3 天线罩透波材料 | 第22-23页 |
| 1.6.4 集成电路IC衬底 | 第23页 |
| 1.7 氮化硅陶瓷研究需解决的问题以及发展趋势 | 第23-24页 |
| 1.8 本论文研究目的与意义 | 第24-26页 |
| 第二章 氮化硅陶瓷的制备及实验方案 | 第26-32页 |
| 2.1 实验原料 | 第26-27页 |
| 2.2 实验设备 | 第27-28页 |
| 2.3 氮化硅陶瓷的制备工艺 | 第28页 |
| 2.4 实验分析测试方法 | 第28-30页 |
| 2.4.1 XRD分析 | 第28-29页 |
| 2.4.2 样品表面形貌SEM分析 | 第29页 |
| 2.4.3 样品密度的测定 | 第29页 |
| 2.4.4 样品硬度的测试 | 第29-30页 |
| 2.4.5 样品抗弯强度的测试 | 第30页 |
| 2.4.6 样品耐腐蚀性能测试 | 第30页 |
| 2.5 本章小结 | 第30-32页 |
| 第三章 添加稀土氧化物制备氮化硅的性能研究 | 第32-46页 |
| 3.1 实验方案设计及制备工艺 | 第32-33页 |
| 3.1.1 实验方案设计 | 第32页 |
| 3.1.2 制备工艺 | 第32-33页 |
| 3.2 不同稀土氧化物烧结助剂对氮化硅陶瓷结构与性能的影响 | 第33-39页 |
| 3.2.1 氮化硅陶瓷的XRD分析 | 第33-35页 |
| 3.2.2 SEM分析 | 第35-36页 |
| 3.2.3 密度测试 | 第36-37页 |
| 3.2.4 硬度测试 | 第37-38页 |
| 3.2.5 抗弯强度测试 | 第38-39页 |
| 3.3 无压烧结氮化硅陶瓷的工艺设计 | 第39-44页 |
| 3.3.1 工艺方案设计 | 第39-40页 |
| 3.3.2 XRD分析 | 第40-41页 |
| 3.3.3 SEM分析 | 第41-42页 |
| 3.3.4 密度测试 | 第42-43页 |
| 3.3.5 硬度测试 | 第43-44页 |
| 3.3.6 抗弯强度测试 | 第44页 |
| 3.4 本章小结 | 第44-46页 |
| 第四章 添加稀土氟化物制备氮化硅的性能研究 | 第46-56页 |
| 4.1 实验方案设计及制备工艺 | 第46-47页 |
| 4.1.1 实验方案设计 | 第46页 |
| 4.1.2 制备工艺 | 第46-47页 |
| 4.2 不同稀土氟化物烧结助剂对氮化硅陶瓷性能的影响 | 第47-54页 |
| 4.2.1 XRD分析 | 第47-48页 |
| 4.2.2 SEM分析 | 第48-50页 |
| 4.2.3 密度测试 | 第50-52页 |
| 4.2.4 硬度测试 | 第52-53页 |
| 4.2.5 抗弯强度测试 | 第53-54页 |
| 4.3 本章小结 | 第54-56页 |
| 第五章 氮化硅陶瓷耐腐蚀性能的研究 | 第56-72页 |
| 5.1 氮化硅陶瓷耐腐蚀测试的实验方案设计 | 第56页 |
| 5.2 氮化硅陶瓷耐盐酸腐蚀的性能研究 | 第56-59页 |
| 5.2.1 样品质量百分比变化分析 | 第56-57页 |
| 5.2.2 样品腐蚀前后表面形貌分析 | 第57-58页 |
| 5.2.3 样品腐蚀前后XRD分析 | 第58-59页 |
| 5.2.4 小结 | 第59页 |
| 5.3 氮化硅陶瓷耐氢氧化钠腐蚀的性能研究 | 第59-63页 |
| 5.3.1 样品质量百分比变化分析 | 第59-61页 |
| 5.3.2 样品腐蚀前后表面形貌分析 | 第61-62页 |
| 5.3.3 样品腐蚀前后XRD分析 | 第62-63页 |
| 5.3.4 小结 | 第63页 |
| 5.4 氮化硅陶瓷耐氢氟酸腐蚀的性能研究 | 第63-66页 |
| 5.4.1 样品质量百分比变化分析 | 第63-65页 |
| 5.4.2 样品腐蚀前后表面形貌分析 | 第65页 |
| 5.4.3 样品腐蚀前后XRD分析 | 第65-66页 |
| 5.4.4 小结 | 第66页 |
| 5.5 氮化硅陶瓷耐熔盐腐蚀的性能研究 | 第66-71页 |
| 5.5.1 样品质量百分比变化分析 | 第66-68页 |
| 5.5.2 样品腐蚀前后表面形貌分析 | 第68-69页 |
| 5.5.3 样品腐蚀前后XRD分析 | 第69-71页 |
| 5.5.4 小结 | 第71页 |
| 5.6 本章小结 | 第71-72页 |
| 第六章 结论 | 第72-74页 |
| 参考文献 | 第74-78页 |
| 致谢 | 第78-79页 |
| 攻读硕士期间发表论文情况 | 第79页 |