| 致谢 | 第7-8页 |
| 摘要 | 第8-9页 |
| abstract | 第9页 |
| 第一章 绪论 | 第15-24页 |
| 1.1 单片微波集成电路 | 第15-16页 |
| 1.2 矩形同轴金属传输线 | 第16-20页 |
| 1.3 UV-LIGA工艺技术在单片微波集成电路中的应用 | 第20-22页 |
| 1.4 国内外研究现状 | 第22页 |
| 1.5 课题研究内容 | 第22-24页 |
| 第二章 矩形同轴金属传输线的加工工艺 | 第24-38页 |
| 2.1 矩形同轴金属传输线的结构 | 第24-29页 |
| 2.1.1 矩形同轴金属传输线的结构特性 | 第24-25页 |
| 2.1.2 矩形同轴金属传输线的尺度特征 | 第25-29页 |
| 2.2 矩形同轴金属传输线微结构的加工方法 | 第29-35页 |
| 2.2.1 多层逐步叠加技术 | 第30-32页 |
| 2.2.2 间接键合技术 | 第32-34页 |
| 2.2.3 外壳一次成型技术 | 第34-35页 |
| 2.3 矩形同轴金属传输线微结构的加工工艺 | 第35-37页 |
| 2.4 本章小结 | 第37-38页 |
| 第三章 关键工艺问题研究 | 第38-49页 |
| 3.1 光刻工艺中关键问题研究 | 第38-43页 |
| 3.1.1 光刻工艺基材-BPN负性光刻胶 | 第38-41页 |
| 3.1.2 光刻胶胶膜的平整性问题 | 第41-42页 |
| 3.1.3 光刻胶胶膜的开裂问题 | 第42-43页 |
| 3.2 微电铸工艺参数优化 | 第43-47页 |
| 3.2.1 微电铸实验平台 | 第43-46页 |
| 3.2.2 微电铸工艺参数优化 | 第46-47页 |
| 3.3 本章小结 | 第47-49页 |
| 第四章 矩形同轴金属传输线微结构性能研究 | 第49-60页 |
| 4.1 矩形同轴金属微结构外观轮廓表征 | 第49-50页 |
| 4.2 矩形同轴金属微结构尺寸定量表征 | 第50-56页 |
| 4.2.1 矩形同轴金属微结构横向尺寸定量表征 | 第50-52页 |
| 4.2.2 矩形同轴金属微结构纵向尺寸定量表征 | 第52-56页 |
| 4.2.3 矩形同轴传输线微结构尺寸定量表征 | 第56页 |
| 4.3 内导体完整性测试 | 第56-59页 |
| 4.4 本章小结 | 第59-60页 |
| 第五章 总结与展望 | 第60-62页 |
| 5.1 本文工作总结 | 第60页 |
| 5.2 不足和展望 | 第60-62页 |
| 参考文献 | 第62-66页 |
| 攻读硕士学位期间的学术活动及成果情况 | 第66-67页 |