| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 第一章 引言 | 第10-12页 |
| 1.1 光子集成的研究意义 | 第10页 |
| 1.2 本文的工作 | 第10-12页 |
| 第二章 基于非线性杂化波导的表面等离激元集成放大器 | 第12-22页 |
| 2.1 等离激元介绍和研究现状 | 第12-13页 |
| 2.2 基于非线性杂化波导的表面等离激元集成放大器设计 | 第13-20页 |
| 2.2.1 理论模型 | 第13-15页 |
| 2.2.2 设计原理 | 第15-17页 |
| 2.2.3 腔内非线性过程 | 第17-20页 |
| 2.3 本章小结 | 第20-22页 |
| 第三章 铌酸锂波导的制备与加工 | 第22-33页 |
| 3.1 铌酸锂波导制备的背景 | 第22-23页 |
| 3.2 电感耦合反应离子刻蚀铌酸锂 | 第23-30页 |
| 3.2.1 反应离子刻蚀铌酸锂的流程 | 第23-30页 |
| 3.2.1.1 匀胶与光刻 | 第24-25页 |
| 3.2.1.2 镀膜与lift-off | 第25-26页 |
| 3.2.1.3 质子交换 | 第26-27页 |
| 3.2.1.4 电感耦合-反应离子刻蚀(ICP-RIE) | 第27-30页 |
| 3.3 聚焦离子刻蚀铌酸锂 | 第30-32页 |
| 3.4 本章小结 | 第32-33页 |
| 第四章 铌酸锂波导的光学性质的研究 | 第33-41页 |
| 4.1 铌酸锂光学性质的表征 | 第33-38页 |
| 4.2 铌酸锂器件设计与仿真 | 第38-40页 |
| 4.3 本章小结 | 第40-41页 |
| 第五章 总结与展望 | 第41-42页 |
| 参考文献 | 第42-45页 |
| 致谢 | 第45-46页 |
| 发表论文和参与项目 | 第46-48页 |
