| 摘要 | 第9-10页 |
| Abstract | 第10-11页 |
| 第1章 绪论 | 第12-20页 |
| 1.1 课题研究背景概述 | 第12-13页 |
| 1.2 压电式振动能量采集器的研究进展 | 第13-17页 |
| 1.3 电能管理电路的研究进展 | 第17-18页 |
| 1.4 本文研究内容 | 第18-20页 |
| 第2章 微梁动力学模型改进及实验验证 | 第20-34页 |
| 2.1 引言 | 第20页 |
| 2.2 微梁动力学模型 | 第20-22页 |
| 2.3 微压电悬臂梁的谐振频率方程 | 第22-25页 |
| 2.4 微压电悬臂梁有限元分析 | 第25-28页 |
| 2.4.1 等效杨氏模量 | 第25-27页 |
| 2.4.2 模态分析 | 第27-28页 |
| 2.5 微压电悬臂梁性能测试与分析 | 第28-32页 |
| 2.5.1 微压电悬臂梁制备 | 第28-29页 |
| 2.5.2 测试系统 | 第29-30页 |
| 2.5.3 性能测试与分析 | 第30-32页 |
| 2.6 本章小节 | 第32-34页 |
| 第3章 基于MEMS振动能量采集器的微电源设计 | 第34-58页 |
| 3.1 引言 | 第34页 |
| 3.2 MEMS微电源的系统结构 | 第34-35页 |
| 3.3 能量转换模块相关理论及实验分析 | 第35-49页 |
| 3.3.1 单悬臂梁式MEMS压电振动能量采集结构 | 第35-37页 |
| 3.3.2 MEMS振动能量采集器动力学分析 | 第37-41页 |
| 3.3.2.1 采集器的频率方程 | 第37-38页 |
| 3.2.2.2 外界激励下采集器的响应 | 第38-41页 |
| 3.3.3 采集器输出性能影响因素 | 第41-43页 |
| 3.3.4 采集器有限元分析 | 第43-47页 |
| 3.3.5 MEMS振动能量采集器性能测试与分析 | 第47-49页 |
| 3.3.5.1 MEMS器件的制备 | 第47页 |
| 3.3.5.2 采集器性能测试与结果分析 | 第47-49页 |
| 3.4 电能收集与存储模块设计及性能分析 | 第49-53页 |
| 3.4.1 BQ25504简介 | 第49-50页 |
| 3.4.2 电能收集与存储模块设计 | 第50-52页 |
| 3.4.3 电能收集与存储模块性能分析 | 第52-53页 |
| 3.5 升压模块设计及性能分析 | 第53-56页 |
| 3.5.1 TPS61020简介 | 第53-54页 |
| 3.5.2 升压模块设计 | 第54-55页 |
| 3.5.3 升压模块性能分析 | 第55-56页 |
| 3.6 微电源集成与应用 | 第56页 |
| 3.7 本章小节 | 第56-58页 |
| 第4章 MEMS振动能量采集器优化方案 | 第58-74页 |
| 4.1 引言 | 第58页 |
| 4.2 采集器相关动力学分析 | 第58-62页 |
| 4.3 采集器输出电压计算 | 第62-63页 |
| 4.4 采集器抗弯刚度计算 | 第63-67页 |
| 4.5 采集器优化效果仿真 | 第67-71页 |
| 4.6 本章小节 | 第71-74页 |
| 第5章 总结与展望 | 第74-76页 |
| 5.1 总结 | 第74-75页 |
| 5.2 展望 | 第75-76页 |
| 参考文献 | 第76-82页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文和专利 | 第82-84页 |
| 致谢 | 第84-85页 |
| 学位论文评阅及答辩情况表 | 第85页 |