差分式微光纤加速度传感器的仿真设计
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-16页 |
| ·加速度传感器概述 | 第10-11页 |
| ·MEMS 加速度传感器概述 | 第11-14页 |
| ·MEMS 技术的简述 | 第11-12页 |
| ·MEMS 加速度传感器简述 | 第12-13页 |
| ·MEMS 加速度传感器的应用及现状 | 第13-14页 |
| ·课题的主要内容以及研究意义 | 第14-16页 |
| 第2章 微加速度传感器的理论基础 | 第16-30页 |
| ·微加速度传感器的力学原理 | 第16-18页 |
| ·光纤波导和传感原理 | 第18-22页 |
| ·几种典型的光纤传感结构 | 第22-25页 |
| ·迈克尔逊结构 | 第22-24页 |
| ·法布里-珀罗结构 | 第24-25页 |
| ·马赫曾德尔结构 | 第25页 |
| ·半导体加工技术简述 | 第25-29页 |
| ·氧化 | 第26页 |
| ·淀积 | 第26-27页 |
| ·光刻 | 第27-28页 |
| ·刻蚀 | 第28-29页 |
| ·本章小结 | 第29-30页 |
| 第3章 微光纤加速度传感器的结构设计 | 第30-40页 |
| ·微光纤加速度传感器的总体设计思路 | 第30-31页 |
| ·光纤传输单元的设计 | 第31-34页 |
| ·激光及传输光纤的选取 | 第32页 |
| ·光纤耦合环的设计 | 第32-34页 |
| ·传感器敏感单元的设计 | 第34-37页 |
| ·传感器敏感单元的结构设计 | 第34-36页 |
| ·传感器敏感单元的加工流程 | 第36-37页 |
| ·光电检测系统的设计 | 第37-38页 |
| ·本章小结 | 第38-40页 |
| 第4章 微光纤加速度计的性能分析 | 第40-58页 |
| ·MEMS 加速度传感器的测量原理 | 第40-42页 |
| ·MEMS 传感结构的计算机模拟 | 第42-55页 |
| ·CoventorWare 介绍 | 第42页 |
| ·有限元方法概述 | 第42-43页 |
| ·传感器敏感单元的仿真设计 | 第43-45页 |
| ·有限元仿真分析 | 第45-52页 |
| ·传感器敏感单元参数对性能的影响 | 第52-55页 |
| ·MEMS 传感器的噪声分析 | 第55-57页 |
| ·机械噪声 | 第55-56页 |
| ·随机振动噪声 | 第56页 |
| ·其他噪声 | 第56-57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 结论 | 第58-60页 |
| 参考文献 | 第60-64页 |
| 攻读硕士学位期间承担的科研任务与主要成果 | 第64-65页 |
| 致谢 | 第65-66页 |
| 作者简介 | 第66页 |
