| 中文摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-34页 |
| ·气体传感器 | 第13-21页 |
| ·半导体气体传感器分类 | 第13-16页 |
| ·气体传感器特性参数 | 第16-18页 |
| ·气体传感器工作原理 | 第18-21页 |
| ·半导体敏感材料研究现状 | 第21-32页 |
| ·纳米材料研究现状 | 第22-23页 |
| ·几种典型半导体氧化物研究现状 | 第23-32页 |
| ·本论文的思路 | 第32-34页 |
| 第二章 纳米片状 In_2O_3的合成及其气敏特性研究 | 第34-48页 |
| ·纳米片状 In_2O_3的制备 | 第35-38页 |
| ·实验试剂 | 第35页 |
| ·纳米片状 In_2O_3的制备流程 | 第35-36页 |
| ·材料的表征 | 第36-37页 |
| ·传感器件的设计 | 第37-38页 |
| ·实验结果及分析 | 第38-41页 |
| ·所制备样品 XRD 表征 | 第38-39页 |
| ·所制备样品 SEM 表征 | 第39-40页 |
| ·所制备样品 TEM 表征 | 第40-41页 |
| ·所制备样品氮气吸脱附表征 | 第41页 |
| ·纳米片状氧化铟气敏性能测试 | 第41-46页 |
| ·器件最佳工作温度的测试 | 第42-43页 |
| ·气体浓度对器件灵敏度的影响 | 第43-44页 |
| ·器件的气体选择性测试 | 第44-46页 |
| 本章小结 | 第46-48页 |
| 第三章 In_2O_3花状微球的合成及其气敏特性研究 | 第48-60页 |
| ·In_2O_3花状微球材料制备 | 第48-49页 |
| ·实验药品试剂 | 第48页 |
| ·In_2O_3花状微球的制备流程 | 第48-49页 |
| ·实验结果及分析 | 第49-52页 |
| ·所制备样品 XRD 表征 | 第49-50页 |
| ·所制备样品 SEM 表征 | 第50-51页 |
| ·所制备样品 TEM 表征 | 第51-52页 |
| ·In_2O_3花状微球氮气吸脱附表征 | 第52页 |
| ·In_2O_3花状微球合成条件研究 | 第52-53页 |
| ·花状微球氧化铟气敏性能测试 | 第53-59页 |
| ·温度对器件气敏性的影响 | 第53-54页 |
| ·待测气体浓度对器件的影响 | 第54-56页 |
| ·器件的气体选择性测试 | 第56-59页 |
| 本章小结 | 第59-60页 |
| 第四章 多层次类花状 In_2O_3的合成及其气敏特性研究 | 第60-70页 |
| ·多层次类花状 In_2O_3的制备 | 第60页 |
| ·实验试剂 | 第60页 |
| ·多层次类花状 In_2O_3的制备流程 | 第60页 |
| ·实验结果及分析 | 第60-64页 |
| ·所制备样品 XRD 表征 | 第60-61页 |
| ·所制备样品 SEM 表征 | 第61-62页 |
| ·所制备样品 TEM 表征 | 第62-63页 |
| ·所制备样品氮气吸脱附表征 | 第63-64页 |
| ·多层次类花状 In_2O_3合成条件探究 | 第64页 |
| ·多层次类花状氧化铟器件气敏性能测试 | 第64-68页 |
| ·器件最佳工作温度的确定 | 第64-65页 |
| ·待测气体浓度对器件的影响 | 第65-67页 |
| ·器件的气体选择性测试 | 第67-68页 |
| 本章小结 | 第68-70页 |
| 第五章 星型花状 In_2O_3的合成及其气敏特性研究 | 第70-84页 |
| ·星型花状 In_2O_3纳米材料制备 | 第70页 |
| ·实验药品试剂 | 第70页 |
| ·星型花状 In_2O_3的制备流程 | 第70页 |
| ·实验结果及分析 | 第70-74页 |
| ·所制备样品 XRD 表征 | 第70-71页 |
| ·所制备样品 SEM 表征 | 第71-72页 |
| ·所制备样品 TEM 表征 | 第72-73页 |
| ·所制备样品氮气吸脱附表征 | 第73-74页 |
| ·星型花状 In_2O_3生长过程 | 第74-75页 |
| ·星型花状 In_2O_3最佳烧结温度确定 | 第75-76页 |
| ·星型花状氧化铟气敏性能测试 | 第76-82页 |
| ·温度对器件气敏性的影响 | 第76-77页 |
| ·待测气体浓度对器件的影响 | 第77-78页 |
| ·器件的气体选择性测试 | 第78-79页 |
| ·相对湿度对器件气敏性测试 | 第79-82页 |
| 本章小结 | 第82-84页 |
| 第六章 海胆状 In_2O_3的合成及其气敏特性研究 | 第84-92页 |
| ·海胆状 In_2O_3微球材料制备 | 第84页 |
| ·实验药品试剂 | 第84页 |
| ·海胆状 In_2O_3微球的制备流程 | 第84页 |
| ·实验结果及分析 | 第84-87页 |
| ·所制备样品 XRD 表征 | 第84-85页 |
| ·所制备样品 SEM 表征 | 第85-86页 |
| ·所制备样品 TEM 表征 | 第86页 |
| ·所制备样品氮气吸脱附表征 | 第86-87页 |
| ·海胆状氧化铟气敏性能测试 | 第87-91页 |
| ·温度对器件气敏性的影响 | 第87-88页 |
| ·待测气体浓度对器件的影响 | 第88-89页 |
| ·器件的气体选择性测试 | 第89-91页 |
| 本章小结 | 第91-92页 |
| 第七章 结论 | 第92-94页 |
| 参考文献 | 第94-110页 |
| 作者简介 | 第110-112页 |
| 致谢 | 第112-113页 |
