| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-17页 |
| 第一章 绪论 | 第17-27页 |
| 第一节 原子力显微镜研究课题的意义 | 第17-21页 |
| ·研究背景 | 第17-19页 |
| ·选题意义 | 第19-21页 |
| 第二节 高速原子力显微镜的主要问题与研究现状 | 第21-25页 |
| ·主要问题 | 第21-22页 |
| ·研究现状 | 第22-25页 |
| 第三节 论文主要内容与结构 | 第25-27页 |
| 第二章 原子力显微镜成像信号系统及预处理 | 第27-57页 |
| 第一节 原子力显微镜成像原理与成像模式 | 第27-34页 |
| ·原子力显微镜系统基本结构 | 第27-28页 |
| ·AFM 扫描成像模式 | 第28-29页 |
| ·AFM 主要结构单元 | 第29-32页 |
| ·原子力显微镜的工作原理 | 第32-34页 |
| 第二节 原子力显微镜成像系统模型 | 第34-36页 |
| ·探针模型 | 第34-35页 |
| ·微悬臂模型 | 第35页 |
| ·探针-样品间的原子力模型 | 第35-36页 |
| ·轻敲幅值检测模型 | 第36页 |
| 第三节 原子力显微镜仿真与实验系统简介 | 第36-39页 |
| ·原子力显微镜仿真系统 | 第36-37页 |
| ·基于本原 CSPM4000 的 RTLinux 实验平台 | 第37-39页 |
| 第四节 压力显微镜成像信号的预处理 | 第39-57页 |
| ·动态成像方法预处理 | 第39-50页 |
| ·斜面去除预处理 | 第50-57页 |
| 第三章 基于临近点集数据融合的 AFM 成像方法研究 | 第57-77页 |
| 第一节 成像方法现状介绍 | 第57-59页 |
| 第二节 基于临近点集数据融合的动态成像方法 | 第59-62页 |
| 第三节 仿真及实验结果与分析 | 第62-76页 |
| ·DFNPS 方法的仿真结果与分析 | 第62-70页 |
| ·DFNPS 方法的实验结果分析 | 第70-76页 |
| 第四节 本章小结 | 第76-77页 |
| 第四章 基于 AUKF 的高速 AFM 成像方法研究 | 第77-89页 |
| 第一节 轻敲模式下传统成像方法的问题 | 第77-80页 |
| ·现有成像方法 | 第77-78页 |
| ·现有成像方法缺陷分析 | 第78-80页 |
| 第二节 基于 UKF 的 AFM 成像方法 | 第80-84页 |
| ·无味卡尔曼滤波简介 | 第80-81页 |
| ·UKF 的简化 | 第81-82页 |
| ·基于 UKF 滤波的成像方法 | 第82-84页 |
| 第三节 基于 AUKF 的成像方法 | 第84-85页 |
| 第四节 仿真结果与分析 | 第85-87页 |
| 第五节 本章小结 | 第87-89页 |
| 第五章 基于数据驱动的 AFM 参数自整定控制与成像方法 | 第89-103页 |
| 第一节 引言 | 第89-91页 |
| 第二节 基于数据驱动的控制与成像方法 | 第91-97页 |
| ·AFM 成像系统的局部线性化 | 第91-92页 |
| ·基于数据驱动的模型参数辨识 | 第92-94页 |
| ·PI 控制器参数自调节方法 | 第94-95页 |
| ·数据库的初始化与扩充 | 第95-96页 |
| ·AFM 成像算法流程 | 第96-97页 |
| 第三节 仿真与实验 | 第97-102页 |
| ·仿真结果与分析 | 第97-100页 |
| ·实验结果与分析 | 第100-102页 |
| 第四节 本章小结 | 第102-103页 |
| 第六章 总结与展望 | 第103-107页 |
| 第一节 论文总结 | 第103-104页 |
| 第二节 工作展望 | 第104-107页 |
| 参考文献 | 第107-117页 |
| 致谢 | 第117-119页 |
| 个人简历、在学期间发表的学术论文与科研工作 | 第119-122页 |
