研究金属有机物化学气相沉积设备控制系统

摘要	第1-5页
ABSTRACT	第5-8页
1 绪论	第8-14页
·MOCVD 概述	第8-9页
·国内外研究现状	第9-12页
·应用前景	第12-13页
·研究内容和论文安排	第13-14页
2 MOCVD 控制关键技术	第14-33页
·流量控制	第14-17页
·压力控制	第17-23页
·温度控制	第23-31页
·安全控制	第31-32页
·小结	第32-33页
3 PLC 控制系统	第33-44页
·PLC 控制系统结构	第33-38页
·PLC 与智能设备通讯	第38-43页
·小结	第43-44页
4 控制系统实时性分析	第44-50页
·PLC 硬件与程序实时性分析	第44-47页
·阀门控制实时性和可重复性分析	第47-48页
·RS485 通讯的实时性分析	第48-49页
·小结	第49-50页
5 最新的自动化控制技术展望及工业应用	第50-54页
·可编程计算机控制器技术	第50-51页
·可编程自动化控制技术	第51-52页
·软PLC 技术	第52页
·小结	第52-54页
6 总结与展望	第54-56页
·总结	第54页
·展望	第54-56页
致谢	第56-57页
参考文献	第57-60页
攻读硕士学位期间发表的学术论文	第60页