| 摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-16页 |
| ·研究背景与意义 | 第11-12页 |
| ·论文研究背景 | 第11页 |
| ·研究意义 | 第11-12页 |
| ·国内外研究现状 | 第12-14页 |
| ·国内设备管理现状 | 第12-13页 |
| ·国外设备的管理现状 | 第13-14页 |
| ·研究目标 | 第14页 |
| ·研究内容 | 第14-15页 |
| ·本文的章节安排 | 第15-16页 |
| 第二章 半导体生产设备维护及评估手段概述 | 第16-24页 |
| ·半导体生产设备维护发展概述 | 第16-20页 |
| ·半导体生产设备的特点 | 第19页 |
| ·设备管理的重要性 | 第19-20页 |
| ·设备运行状态的评估手段 | 第20-24页 |
| ·设备MA(Machine Availability)可用性能评估体系 | 第21-22页 |
| ·设备AConfidence性能指标评估体系 | 第22-23页 |
| ·设备MA和AConfidence指标在设备管理中的应用 | 第23-24页 |
| 第三章 半导体生产设备运行管理系统需求分析与设计 | 第24-44页 |
| ·半导体生产设备运行管理系统的需求分析 | 第24-32页 |
| ·半导体生产设备运行管理系统管理对象概述 | 第24-26页 |
| ·半导体生产设备运行管理系统需求特点 | 第26-28页 |
| ·系统功能需求分析 | 第28-30页 |
| ·系统数据及性能需求分析 | 第30-32页 |
| ·半导体生产设备运行管理系统的设计 | 第32-44页 |
| ·系统架构设计 | 第32-34页 |
| ·网络结构设计 | 第34-35页 |
| ·功能模块设计 | 第35-39页 |
| ·数据库结构设计 | 第39-44页 |
| 第四章 半导体生产设备运行管理系统的实现与测试 | 第44-78页 |
| ·程序开发平台和开发工具介绍 | 第44-45页 |
| ·程序流程设计 | 第45-47页 |
| ·日志文件诊断在系统中的实现 | 第47-59页 |
| ·日志文件(Log File) 的定义 | 第47-48页 |
| ·日志文件诊断模块运行流程 | 第48-50页 |
| ·日志文件诊断模块的功能实现 | 第50-53页 |
| ·日志文件诊断模块应用实例 | 第53-59页 |
| ·生产设备信息管理模块的实现 | 第59-72页 |
| ·维修信息管理模块数据库基本框架 | 第59-60页 |
| ·维修信息管理模块功能实现 | 第60-71页 |
| ·维修信息模块对设备运行管理的意义 | 第71-72页 |
| ·系统测试 | 第72-77页 |
| ·测试目的 | 第72页 |
| ·测试范围 | 第72页 |
| ·测试类型 | 第72-74页 |
| ·测试总结 | 第74-77页 |
| ·本章小结 | 第77-78页 |
| 第五章 结论与展望 | 第78-80页 |
| ·结论 | 第78-79页 |
| ·展望 | 第79-80页 |
| 致谢 | 第80-81页 |
| 参考文献 | 第81-83页 |