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钙钛矿结构金属氧化物薄膜的电阻开关性能研究

摘要第1-5页
ABSTRACT第5-9页
第一章 绪论第9-25页
   ·前言第9-10页
   ·RRAM的研究进展第10-19页
   ·工作的目的和意义第19-21页
 参考文献第21-25页
第二章 La_(0.67)Sr_(0.33)MnO_3薄膜的生长方法和表征第25-37页
   ·LSMO薄膜的制备方法第25-28页
     ·溶胶-凝胶法第25页
     ·脉冲激光沉积技术(PLD)第25-26页
     ·磁控溅射法(Direct current reactive magnetron sputtering)第26-27页
     ·分子束外延(Molecular beam epitaxy,MBE)第27-28页
   ·LSMO薄膜的表征第28-34页
     ·X射线衍射第28-29页
     ·扫描电子显微镜(Scanning Electronic Microscopy,SEM)第29-30页
     ·原子力显微镜(AFM)第30-32页
     ·拉曼光谱分析第32页
     ·电化学工作站(Chi660B)第32-34页
 参考文献第34-37页
第三章 FTO导电玻璃上沉积的La_(0.67)Sr_(0.33)MnO_3薄膜的电阻开关特性的研究第37-53页
   ·前言第37-38页
   ·实验第38-39页
     ·LSMO靶材的制备第38页
     ·LSMO薄膜的制备第38页
     ·LSMO/FTO薄膜异质结样品的表征第38-39页
   ·结果与讨论第39-41页
     ·LSMO薄膜的XRD分析第39-40页
     ·LSMO薄膜的AFM分析第40-41页
     ·不同激光能量薄膜器件的Ⅰ-Ⅴ曲线第41页
   ·LSMO异质结的电阻开关特性研究第41-46页
   ·电阻开关机制的讨论第46-48页
   ·本章小结第48-49页
 参考文献第49-53页
第四章 不同上电极面积La_(0.67)Sr_(0.33)MnO_3薄膜的电阻开关性能的研究第53-66页
   ·前言第53-54页
   ·LSMO薄膜器件研究现状第54-56页
   ·理论基础第56-59页
   ·结果与讨论第59-62页
     ·薄膜器件Ⅰ-Ⅴ曲线的测量方法第59页
     ·薄膜器件Ⅱ-Ⅴ曲线特性分析第59-61页
     ·LSMO薄膜器件(0.065 mm~2)电阻开关保持性能分析第61-62页
   ·本章小结第62-63页
 参考文献第63-66页
攻读硕士学位期间完成的论文第66-67页
致谢第67页

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