| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-9页 |
| 图录 | 第9-11页 |
| 表录 | 第11-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-28页 |
| ·研究背景 | 第12-13页 |
| ·应用于视网膜假体的微电极阵列 | 第13-23页 |
| ·几种不同的视网膜假体 | 第13-21页 |
| ·用于制作视网膜假体微电极阵列的材料 | 第21-23页 |
| ·MEMS 技术概述及在神经电极中的应用 | 第23-27页 |
| ·MEMS 技术发展历程 | 第24-25页 |
| ·MEMS 技术加工手段与在神经电极中的应用 | 第25-26页 |
| ·MEMS 技术前景与发展难题 | 第26-27页 |
| ·课题来源与研究内容 | 第27-28页 |
| ·课题来源 | 第27页 |
| ·研究内容 | 第27-28页 |
| 第二章 应用于脉络膜上腔的 30 通道柔性微电极阵列 | 第28-52页 |
| ·微电极阵列的设计 | 第28-34页 |
| ·材料 | 第28-30页 |
| ·电极尺寸和结构 | 第30-34页 |
| ·基于光敏型聚合物的加工工艺 | 第34-42页 |
| ·实验材料与设备 | 第35页 |
| ·基于光敏型聚合物的微电极加工工艺流程 | 第35-38页 |
| ·关于 Lift-Off 方法的讨论 | 第38-42页 |
| ·微电极阵列的性能测试 | 第42-49页 |
| ·表面形貌测试 | 第43-44页 |
| ·结构与力学性能测试 | 第44-45页 |
| ·电学和电化学性能测试 | 第45-48页 |
| ·生物相容性测试 | 第48-49页 |
| ·本章小结 | 第49-52页 |
| 第三章 基于聚酰亚胺的高密度柔性微电极阵列 | 第52-78页 |
| ·电极材料 | 第52页 |
| ·总体尺寸设计 | 第52-53页 |
| ·表面参数设计 | 第53-61页 |
| ·决定刺激点半径的生理学因素 | 第53-54页 |
| ·决定刺激点半径的工艺因素 | 第54-58页 |
| ·两种不同密度微电极阵列的比较 | 第58-61页 |
| ·加工工艺 | 第61-65页 |
| ·实验器材 | 第61-62页 |
| ·基于光敏型聚合物的微电极加工工艺流程 | 第62-65页 |
| ·微电极阵列的测试 | 第65-69页 |
| ·表面形貌测试 | 第65页 |
| ·结构与力学性能测试 | 第65页 |
| ·电学和电化学性能测试 | 第65-69页 |
| ·生物相容性测试 | 第69页 |
| ·离子束刻蚀方法的优势 | 第69-76页 |
| ·本章小结 | 第76-78页 |
| 第四章 总结与展望 | 第78-80页 |
| ·全文总结 | 第78-79页 |
| ·展望 | 第79-80页 |
| 参考文献 | 第80-84页 |
| 致谢 | 第84-85页 |
| 攻读硕士学位期间已发表或录用的论文 | 第85-87页 |