| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-14页 |
| 第一章 绪论 | 第14-25页 |
| ·引言 | 第14-16页 |
| ·微电子技术的发展 | 第14-15页 |
| ·MOS 场效应晶体管结构的变革 | 第15-16页 |
| ·高 K 材料及其制备工艺 | 第16-19页 |
| ·高 K 材料 | 第16-18页 |
| ·原子层沉积（ALD）技术 | 第18页 |
| ·稀土氧化物的 ALD 前驱体的研究进展 | 第18-19页 |
| ·稀土金属有机化学 | 第19-23页 |
| ·茂稀土金属有机化学 | 第20页 |
| ·非茂基稀土金属有机化学 | 第20-23页 |
| ·含 Ln-C 键的稀土金属配合物 | 第21页 |
| ·含 Ln-O 键的稀土金属配合物 | 第21-22页 |
| ·含 Ln-N 键的稀土金属配合物 | 第22-23页 |
| ·本文研究内容 | 第23-25页 |
| 第二章 硅胺基稀土配合物及硼氢化稀土配合物的合成及性质 | 第25-38页 |
| ·引言 | 第25页 |
| ·实验部分 | 第25-32页 |
| ·实验试剂 | 第27页 |
| ·试剂的预处理 | 第27-28页 |
| ·实验仪器 | 第28页 |
| ·分析和测试方法 | 第28-29页 |
| ·稀土含量分析 | 第28页 |
| ·碳，氢和氮含量的分析 | 第28-29页 |
| ·熔点测定 | 第29页 |
| ·核磁共振分析 | 第29页 |
| ·晶体结构测定 | 第29页 |
| ·硅胺基稀土配合物的合成 | 第29-30页 |
| ·无水 LaCl3的制备 | 第29页 |
| ·无水 GdCl_3的制备 | 第29页 |
| ·LiN(SiMe_3)_2的制备 | 第29-30页 |
| ·La[N(SiMe_3)_2]_3的合成 | 第30页 |
| ·Gd[N(SiMe_3)_2]_3的合成 | 第30页 |
| ·La[N(SiMe_3)_2]_3合成方法的优化 | 第30页 |
| ·硼氢化稀土配合物的合成 | 第30-32页 |
| ·La(BH_4)_3(THF)_3的合成 | 第30-31页 |
| ·La(BH_4)_3(DME)_2(1)的合成 | 第31页 |
| ·NaN(SiMe3)2的合成 | 第31页 |
| ·NaLa[N(SiMe_3)_2](BH_4)_3(THF)_3(2a)的合成 | 第31-32页 |
| ·NaLa[N(SiMe_3)_2]2(BH_4)_2(THF) (2b)的合成 | 第32页 |
| ·结果与讨论 | 第32-34页 |
| ·La[N(SiMe_3)_2]_3合成方法的优化 | 第32-33页 |
| ·La(BH_4)_3(THF)_3反应性能的初步研究 | 第33页 |
| ·配合物的表征 | 第33-34页 |
| ·元素含量分析 | 第33-34页 |
| ·核磁共振 | 第34页 |
| ·本章小结 | 第34-38页 |
| 第三章 吡唑基稀土金属有机配合物的合成与表征 | 第38-59页 |
| ·引言 | 第38-40页 |
| ·实验部分 | 第40-43页 |
| ·实验试剂 | 第40页 |
| ·配体的合成 | 第40-41页 |
| ·3,5-二甲基吡唑（Me_2PzH）的合成 | 第40-41页 |
| ·3,5-二苯基吡唑（Ph_2PzH）的合成 | 第41页 |
| ·3,5-二叔丁基吡唑（t-Bu_2PzH）的合成 | 第41页 |
| ·吡唑基稀土金属有机配合物的合成 | 第41-43页 |
| ·(Me_2Pz)La[N(SiMe_3)_2]_2(THF)_2(3a)的合成 | 第41-42页 |
| ·(Me_2Pz)_3La(THF) (3c)的合成 | 第42页 |
| ·(Me_2Pz)_3Gd(THF) (3d)的合成 | 第42页 |
| ·两个当量的 Me_2PzH 与 La[N(SiMe_3)_2]_3的反应 | 第42-43页 |
| ·一个当量的 Ph_2PzH 与 La[N(SiMe_3)_2]_3的反应 | 第43页 |
| ·一个当量的 t-Bu_2PzH 与 La[N(SiMe_3)_2]_3的反应 | 第43页 |
| ·结果与讨论 | 第43-50页 |
| ·吡唑基稀土金属有机配合物的合成 | 第43-47页 |
| ·吡唑基稀土金属有机配合物的表征 | 第47-50页 |
| ·元素含量分析 | 第47页 |
| ·核磁共振 | 第47页 |
| ·X-射线单晶衍射 | 第47-50页 |
| ·本章小结 | 第50-59页 |
| 第四章 1,2,4-三唑基稀土金属有机配合物的合成与表征 | 第59-90页 |
| ·引言 | 第59-60页 |
| ·实验部分 | 第60-64页 |
| ·实验试剂 | 第60页 |
| ·配体的合成 | 第60-62页 |
| ·3,5-二甲基-1,2,4-三唑（Me_2TzH）的合成 | 第60-61页 |
| ·3,5-二正丙基-1,2,4-三唑（n-Pr_2TzH）的合成 | 第61页 |
| ·3,5-二正丁基-1,2,4-三唑（n-Bu_2TzH）的合成 | 第61页 |
| ·3,5-二苯基-1,2,4-三唑（Ph_2TzH）的合成 | 第61-62页 |
| ·配合物的合成 | 第62-64页 |
| ·配合物 6a 的合成 | 第62页 |
| ·配合物 6b 的合成 | 第62页 |
| ·配合物 7a 的合成 | 第62-63页 |
| ·配合物 7b 的合成 | 第63页 |
| ·配合物 8a 的合成 | 第63页 |
| ·配合物 8b 的合成 | 第63-64页 |
| ·配合物 9a 的合成 | 第64页 |
| ·配合物 9b 的合成 | 第64页 |
| ·结果与讨论 | 第64-75页 |
| ·合成方法 | 第64-66页 |
| ·配体的合成 | 第65-66页 |
| ·配合物的合成 | 第66页 |
| ·1,2,4-三唑基稀土金属有机配合物的表征 | 第66-75页 |
| ·元素含量分析 | 第66页 |
| ·核磁共振 | 第66-67页 |
| ·热重分析 | 第67-68页 |
| ·X-射线单晶衍射 | 第68-75页 |
| ·本章小结 | 第75-90页 |
| 第五章 总结与展望 | 第90-92页 |
| ·总结 | 第90-91页 |
| ·展望 | 第91-92页 |
| 参考文献 | 第92-98页 |
| 致谢 | 第98-99页 |
| 在学期间的研究成果及发表的学术论文 | 第99页 |
