固结磨料研抛光学玻璃的材料去除机理研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 图表清单 | 第10-12页 |
| 注释表 | 第12-13页 |
| 第一章 绪论 | 第13-24页 |
| ·引言 | 第13-14页 |
| ·化学机械研抛技术 | 第14-18页 |
| ·化学机械研抛的工作原理 | 第14-15页 |
| ·化学机械研抛的优点 | 第15页 |
| ·化学机械研抛技术的应用 | 第15-18页 |
| ·化学机械研抛的研究现状 | 第18-21页 |
| ·游离磨料化学机械研抛 | 第18页 |
| ·固结磨料化学机械研抛 | 第18-21页 |
| ·固结磨料研抛垫 | 第18-19页 |
| ·固结磨料化学机械研抛技术的特点 | 第19-20页 |
| ·固结磨料化学机械研抛发展现状 | 第20-21页 |
| ·亲水性固结磨料研抛垫 | 第21-22页 |
| ·本文主要研究内容 | 第22-24页 |
| 第二章 研抛液的化学作用研究 | 第24-34页 |
| ·实验设置及评价方法 | 第25-29页 |
| ·实验设备 | 第25-26页 |
| ·K9 玻璃样品制备 | 第26-28页 |
| ·维氏硬度测量 | 第28页 |
| ·变质层厚度计算 | 第28-29页 |
| ·K9 玻璃压痕实验载荷及加载时间的选取 | 第29-30页 |
| ·K9 玻璃压痕实验结果分析 | 第30-33页 |
| ·K9 玻璃基体压痕实验 | 第30-31页 |
| ·去离子水浸泡后的 K9 玻璃压痕实验 | 第31-32页 |
| ·研抛液浸泡后的 K9 玻璃压痕实验 | 第32-33页 |
| ·本章小结 | 第33-34页 |
| 第三章 固结磨料化学机械研抛 K9 玻璃去除机理 | 第34-46页 |
| ·K9 玻璃研磨抛光材料去除分量描述 | 第34-35页 |
| ·K9 玻璃的研磨实验设置 | 第35-37页 |
| ·实验设备 | 第35-36页 |
| ·K9 玻璃预处理 | 第36-37页 |
| ·材料去除分量计算 | 第37页 |
| ·研抛实验与结果分析 | 第37-45页 |
| ·化学作用 | 第37-38页 |
| ·机械作用 | 第38-40页 |
| ·抛光垫的机械作用 | 第40-41页 |
| ·磨粒的机械作用 | 第41页 |
| ·化学作用和抛光垫的机械交互作用 | 第41-42页 |
| ·基体的机械与化学交互作用 | 第42-43页 |
| ·磨粒的机械与化学的交互作用 | 第43-45页 |
| ·各部分材料去除率综合分析 | 第45页 |
| ·本章小结 | 第45-46页 |
| 第四章 K9 玻璃的研磨及抛光工艺优化 | 第46-62页 |
| ·实验设备 | 第46-47页 |
| ·K9 玻璃研磨时间 | 第47-49页 |
| ·研磨工艺参数优化 | 第49-54页 |
| ·研磨参数对材料去除率的影响 | 第49-51页 |
| ·研磨参数对表面粗糙度的影响 | 第51-54页 |
| ·研磨参数的优化 | 第54页 |
| ·K9 玻璃抛光时间 | 第54-56页 |
| ·抛光工艺参数的优化 | 第56-61页 |
| ·抛光参数对表面粗糙度的影响 | 第56-59页 |
| ·抛光参数对材料去除率的影响 | 第59-60页 |
| ·抛光参数优化 | 第60-61页 |
| ·本章小结 | 第61-62页 |
| 第五章 总结与展望 | 第62-64页 |
| ·总结 | 第62-63页 |
| ·展望 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-68页 |
| 致谢 | 第68-69页 |
| 在校期间的研究成果及发表的学术论文 | 第69页 |
| 1. 学术论文 | 第69页 |
| 2. 申请的发明专利 | 第69页 |
