CMOS Sensor瑕疵检测关键技术研究
摘要 | 第1-5页 |
ABSTRACT | 第5-6页 |
目录 | 第6-8页 |
第一章 绪论 | 第8-19页 |
·选题依据和意义 | 第8页 |
·CMOS图像传感器发展动态 | 第8-10页 |
·CMOS芯片检测研究及应用现状 | 第10-18页 |
·芯片制造过程 | 第10-13页 |
·目前CMOS产业检测方法 | 第13-18页 |
·主要研究内容 | 第18-19页 |
第二章 CMOS芯片检测系统总体方案 | 第19-25页 |
·系统技术指标及使用要求 | 第19页 |
·技术指标 | 第19页 |
·使用要求 | 第19页 |
·系统总体方案设计 | 第19-23页 |
·系统工作原理 | 第20-21页 |
·打光方式的设计 | 第21-22页 |
·芯片压盖升降设计 | 第22页 |
·光源箱传动设计 | 第22-23页 |
·机械手动作执行规划设计 | 第23-25页 |
第三章 AOI系统设计 | 第25-35页 |
·AOI工作原理 | 第25-26页 |
·AOI系统组成部分设计 | 第26-31页 |
·照明部分设计 | 第26-27页 |
·AOI取像方式 | 第27页 |
·光源混色 | 第27-29页 |
·光源箱压盖升降设计 | 第29-31页 |
·电压源控制 | 第31-35页 |
第四章 检测系统结构设计 | 第35-50页 |
·机械手动作及机构设计 | 第36-37页 |
·机械手的设计 | 第36页 |
·机械手自由度分析 | 第36-37页 |
·XY旋转台 | 第37-41页 |
·旋转台侧隙分析 | 第38-39页 |
·XY旋转台角测量机构优化 | 第39-41页 |
·CMOS芯片定位 | 第41-47页 |
·单目视觉技术 | 第41-42页 |
·单目视觉系统组成 | 第42页 |
·CCD摄像机的选择 | 第42-44页 |
·特征识别原理 | 第44-45页 |
·Canny边缘检测 | 第45-47页 |
·坐标转换 | 第47-48页 |
·理想图像坐标系的转换过程 | 第48-50页 |
第五章 系统坐标系与摄像坐标系夹角实验分析 | 第50-53页 |
第六章 结论 | 第53-55页 |
·本论文主要的研究工作及结论 | 第53-54页 |
·主要研究工作 | 第53页 |
·结论 | 第53-54页 |
·展望 | 第54-55页 |
致谢 | 第55-56页 |
参考文献 | 第56-58页 |
攻读硕士学位期间发表的论文 | 第58页 |