CMOS Sensor瑕疵检测关键技术研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 目录 | 第6-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-19页 |
| ·选题依据和意义 | 第8页 |
| ·CMOS图像传感器发展动态 | 第8-10页 |
| ·CMOS芯片检测研究及应用现状 | 第10-18页 |
| ·芯片制造过程 | 第10-13页 |
| ·目前CMOS产业检测方法 | 第13-18页 |
| ·主要研究内容 | 第18-19页 |
| 第二章 CMOS芯片检测系统总体方案 | 第19-25页 |
| ·系统技术指标及使用要求 | 第19页 |
| ·技术指标 | 第19页 |
| ·使用要求 | 第19页 |
| ·系统总体方案设计 | 第19-23页 |
| ·系统工作原理 | 第20-21页 |
| ·打光方式的设计 | 第21-22页 |
| ·芯片压盖升降设计 | 第22页 |
| ·光源箱传动设计 | 第22-23页 |
| ·机械手动作执行规划设计 | 第23-25页 |
| 第三章 AOI系统设计 | 第25-35页 |
| ·AOI工作原理 | 第25-26页 |
| ·AOI系统组成部分设计 | 第26-31页 |
| ·照明部分设计 | 第26-27页 |
| ·AOI取像方式 | 第27页 |
| ·光源混色 | 第27-29页 |
| ·光源箱压盖升降设计 | 第29-31页 |
| ·电压源控制 | 第31-35页 |
| 第四章 检测系统结构设计 | 第35-50页 |
| ·机械手动作及机构设计 | 第36-37页 |
| ·机械手的设计 | 第36页 |
| ·机械手自由度分析 | 第36-37页 |
| ·XY旋转台 | 第37-41页 |
| ·旋转台侧隙分析 | 第38-39页 |
| ·XY旋转台角测量机构优化 | 第39-41页 |
| ·CMOS芯片定位 | 第41-47页 |
| ·单目视觉技术 | 第41-42页 |
| ·单目视觉系统组成 | 第42页 |
| ·CCD摄像机的选择 | 第42-44页 |
| ·特征识别原理 | 第44-45页 |
| ·Canny边缘检测 | 第45-47页 |
| ·坐标转换 | 第47-48页 |
| ·理想图像坐标系的转换过程 | 第48-50页 |
| 第五章 系统坐标系与摄像坐标系夹角实验分析 | 第50-53页 |
| 第六章 结论 | 第53-55页 |
| ·本论文主要的研究工作及结论 | 第53-54页 |
| ·主要研究工作 | 第53页 |
| ·结论 | 第53-54页 |
| ·展望 | 第54-55页 |
| 致谢 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56-58页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第58页 |