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CMOS Sensor瑕疵检测关键技术研究

摘要第1-5页
ABSTRACT第5-6页
目录第6-8页
第一章 绪论第8-19页
   ·选题依据和意义第8页
   ·CMOS图像传感器发展动态第8-10页
   ·CMOS芯片检测研究及应用现状第10-18页
     ·芯片制造过程第10-13页
     ·目前CMOS产业检测方法第13-18页
   ·主要研究内容第18-19页
第二章 CMOS芯片检测系统总体方案第19-25页
   ·系统技术指标及使用要求第19页
     ·技术指标第19页
     ·使用要求第19页
   ·系统总体方案设计第19-23页
     ·系统工作原理第20-21页
     ·打光方式的设计第21-22页
     ·芯片压盖升降设计第22页
     ·光源箱传动设计第22-23页
   ·机械手动作执行规划设计第23-25页
第三章 AOI系统设计第25-35页
   ·AOI工作原理第25-26页
   ·AOI系统组成部分设计第26-31页
     ·照明部分设计第26-27页
     ·AOI取像方式第27页
     ·光源混色第27-29页
     ·光源箱压盖升降设计第29-31页
   ·电压源控制第31-35页
第四章 检测系统结构设计第35-50页
   ·机械手动作及机构设计第36-37页
     ·机械手的设计第36页
     ·机械手自由度分析第36-37页
   ·XY旋转台第37-41页
     ·旋转台侧隙分析第38-39页
     ·XY旋转台角测量机构优化第39-41页
   ·CMOS芯片定位第41-47页
     ·单目视觉技术第41-42页
     ·单目视觉系统组成第42页
     ·CCD摄像机的选择第42-44页
     ·特征识别原理第44-45页
     ·Canny边缘检测第45-47页
   ·坐标转换第47-48页
   ·理想图像坐标系的转换过程第48-50页
第五章 系统坐标系与摄像坐标系夹角实验分析第50-53页
第六章 结论第53-55页
   ·本论文主要的研究工作及结论第53-54页
     ·主要研究工作第53页
     ·结论第53-54页
   ·展望第54-55页
致谢第55-56页
参考文献第56-58页
攻读硕士学位期间发表的论文第58页

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