| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 1 绪论 | 第10-23页 |
| ·微型直接甲醇燃料电池 | 第10-16页 |
| ·DMFC工作原理 | 第10-11页 |
| ·μDMFC流场板研究进展 | 第11-16页 |
| ·微电铸技术及其研究进展 | 第16-22页 |
| ·微电铸技术的原理及特点 | 第16-18页 |
| ·微电铸技术的研究进展 | 第18-20页 |
| ·基于SU-8胶UV-LIGA技术的模具尺寸精度的研究进展 | 第20-22页 |
| ·本文的主要工作 | 第22-23页 |
| 2 SU-8胶光刻理论与微电铸工艺基础 | 第23-33页 |
| ·SU-8胶的光刻理论 | 第23-25页 |
| ·SU-8胶的光刻机理 | 第23-24页 |
| ·SU-8胶的热溶胀原理 | 第24-25页 |
| ·微电铸工艺基础 | 第25-32页 |
| ·基底材料的选择 | 第25-26页 |
| ·微电铸基底的前处理 | 第26-27页 |
| ·电铸液的溶液成分 | 第27-28页 |
| ·微电铸的工艺参数 | 第28-31页 |
| ·微电铸的实验设备 | 第31-32页 |
| ·本章小结 | 第32-33页 |
| 3 镍模具尺寸精度控制及SU-8胶热溶胀性研究 | 第33-48页 |
| ·基于SU-8厚胶UV-LIGA技术的镍模具制作工艺 | 第33-36页 |
| ·镍基板前处理 | 第33-34页 |
| ·SU-8胶光刻 | 第34-35页 |
| ·微电铸镍模具 | 第35页 |
| ·模具后处理 | 第35-36页 |
| ·增设隔离带对铸层尺寸精度的影响研究 | 第36-41页 |
| ·方案设计 | 第36页 |
| ·实验过程 | 第36-38页 |
| ·数据处理及结果分析 | 第38-41页 |
| ·SU-8矩形胶模的热溶胀性研究 | 第41-47页 |
| ·方案设计 | 第42页 |
| ·实验过程 | 第42-43页 |
| ·数据处理及结果分析 | 第43-47页 |
| ·本章小结 | 第47-48页 |
| 4 μDMFC聚合物流场板热压镍模具的制作 | 第48-65页 |
| ·μDMFC聚合物流场板的流场结构设计 | 第48-52页 |
| ·流场结构参数 | 第48-50页 |
| ·流场结构设计 | 第50-52页 |
| ·μDMFC聚合物流场板热压镍模具制作 | 第52-64页 |
| ·方案设计 | 第52-54页 |
| ·实验过程 | 第54-58页 |
| ·数据处理及结果分析 | 第58-64页 |
| ·本章小结 | 第64-65页 |
| 结论 | 第65-66页 |
| 展望 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-71页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第71-72页 |
| 致谢 | 第72-73页 |