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硬质合金刀具基体上金刚石涂层的制备及其附着性能的研究

第一章 引言第1-28页
 1.1 刀具材料的发展趋势第9-12页
  1.1.1 超硬材料刀具的开发与应用第9-10页
  1.1.2 涂层刀具的发展第10-12页
 1.2 CVD金刚石膜的研究进展及其在刀具上应用第12-17页
  1.2.1 低压合成金刚石的研究历史与现状第12-14页
  1.2.2 CVD金刚石膜在刀具上的应用第14-17页
 1.3 硬质合金金刚石涂层刀具的研究进展第17-21页
  1.3.1 影响CVD金刚石涂层附着力的主要因素第18-19页
  1.3.2 硬质合金刀具基体表面的预处理方法第19-21页
 1.4 开题思想第21-23页
 第一章参考文献第23-28页
第二章 理论基础与实验方法第28-44页
 2.1 薄膜附着力的定义第28-29页
 2.2 薄膜的附着机理第29-35页
  2.2.1 几种典型的薄膜附着机制第29-34页
  2.2.2 附着力的性质第34-35页
 2.3 薄膜附着力的测量第35-39页
 2.4 本文所采用的分析检测手段第39-41页
 第二章参考文献第41-44页
第三章 沉积工艺对金刚石涂层附着性能的影响第44-62页
 3.1 引言第44页
 3.2 实验方法第44-46页
  3.2.1 金刚石薄膜的制备方法及其实验装置第44-45页
  3.2.2 微波等离子体CVD法沉积金刚石膜的机理第45-46页
  3.2.3 基体表面的预处理条件第46页
 3.3 结果与分析第46-59页
  3.3.1 预处理前后基体表面的成分分析第46-48页
  3.3.2 甲烷浓度对金刚石涂层附着性能的影响第48-53页
  3.3.3 基体温度对金刚石涂层附着性能的影响第53-56页
  3.3.4 采用分步法沉积金刚石涂层第56-59页
 3.4 本章小结第59-60页
 第三章参考文献第60-62页
第四章 Mo离子注入对金刚石涂层附着性能的影响第62-77页
 4.1 引言第62页
 4.2 实验方法第62-64页
  4.2.1 离子注入技术第62-63页
  4.2.2 基体表面预处理第63页
  4.2.3 金刚石涂层的制备第63-64页
 4.3 结果与分析第64-73页
  4.3.1 Mo离子注入前后硬质合金基体表面的相结构及成分分析第64-70页
  4.3.2 CVD金刚石涂层的质量分析第70-71页
  4.3.3 Mo离子注入对CVD金刚石涂层附着性能的影响第71-73页
 4.4 本章小结第73-75页
 第四章参考文献第75-77页
第五章 金刚石薄膜与硬质合金基体间过渡层技术的研究第77-102页
 5.1 引言第77-80页
 5.2 实验方法第80-82页
  5.2.1 中间过渡层的设计思想第80-81页
  5.2.2 基体表面预处理及中间层的制备第81-82页
  5.2.3 金刚石涂层的制备第82页
 5.3 实验结果与分析第82-98页
  5.3.1 基体表面的形貌、相结构及成分分析第82-88页
  5.3.2 中间层对金刚石形核密度和涂层表面形貌的影响第88-92页
  5.3.3 金刚石涂层附着力的评估第92-98页
 5.4 本章小结第98-100页
 第五章参考文献第100-102页
第六章 总结第102-105页

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