第一章 引言 | 第1-28页 |
1.1 刀具材料的发展趋势 | 第9-12页 |
1.1.1 超硬材料刀具的开发与应用 | 第9-10页 |
1.1.2 涂层刀具的发展 | 第10-12页 |
1.2 CVD金刚石膜的研究进展及其在刀具上应用 | 第12-17页 |
1.2.1 低压合成金刚石的研究历史与现状 | 第12-14页 |
1.2.2 CVD金刚石膜在刀具上的应用 | 第14-17页 |
1.3 硬质合金金刚石涂层刀具的研究进展 | 第17-21页 |
1.3.1 影响CVD金刚石涂层附着力的主要因素 | 第18-19页 |
1.3.2 硬质合金刀具基体表面的预处理方法 | 第19-21页 |
1.4 开题思想 | 第21-23页 |
第一章参考文献 | 第23-28页 |
第二章 理论基础与实验方法 | 第28-44页 |
2.1 薄膜附着力的定义 | 第28-29页 |
2.2 薄膜的附着机理 | 第29-35页 |
2.2.1 几种典型的薄膜附着机制 | 第29-34页 |
2.2.2 附着力的性质 | 第34-35页 |
2.3 薄膜附着力的测量 | 第35-39页 |
2.4 本文所采用的分析检测手段 | 第39-41页 |
第二章参考文献 | 第41-44页 |
第三章 沉积工艺对金刚石涂层附着性能的影响 | 第44-62页 |
3.1 引言 | 第44页 |
3.2 实验方法 | 第44-46页 |
3.2.1 金刚石薄膜的制备方法及其实验装置 | 第44-45页 |
3.2.2 微波等离子体CVD法沉积金刚石膜的机理 | 第45-46页 |
3.2.3 基体表面的预处理条件 | 第46页 |
3.3 结果与分析 | 第46-59页 |
3.3.1 预处理前后基体表面的成分分析 | 第46-48页 |
3.3.2 甲烷浓度对金刚石涂层附着性能的影响 | 第48-53页 |
3.3.3 基体温度对金刚石涂层附着性能的影响 | 第53-56页 |
3.3.4 采用分步法沉积金刚石涂层 | 第56-59页 |
3.4 本章小结 | 第59-60页 |
第三章参考文献 | 第60-62页 |
第四章 Mo离子注入对金刚石涂层附着性能的影响 | 第62-77页 |
4.1 引言 | 第62页 |
4.2 实验方法 | 第62-64页 |
4.2.1 离子注入技术 | 第62-63页 |
4.2.2 基体表面预处理 | 第63页 |
4.2.3 金刚石涂层的制备 | 第63-64页 |
4.3 结果与分析 | 第64-73页 |
4.3.1 Mo离子注入前后硬质合金基体表面的相结构及成分分析 | 第64-70页 |
4.3.2 CVD金刚石涂层的质量分析 | 第70-71页 |
4.3.3 Mo离子注入对CVD金刚石涂层附着性能的影响 | 第71-73页 |
4.4 本章小结 | 第73-75页 |
第四章参考文献 | 第75-77页 |
第五章 金刚石薄膜与硬质合金基体间过渡层技术的研究 | 第77-102页 |
5.1 引言 | 第77-80页 |
5.2 实验方法 | 第80-82页 |
5.2.1 中间过渡层的设计思想 | 第80-81页 |
5.2.2 基体表面预处理及中间层的制备 | 第81-82页 |
5.2.3 金刚石涂层的制备 | 第82页 |
5.3 实验结果与分析 | 第82-98页 |
5.3.1 基体表面的形貌、相结构及成分分析 | 第82-88页 |
5.3.2 中间层对金刚石形核密度和涂层表面形貌的影响 | 第88-92页 |
5.3.3 金刚石涂层附着力的评估 | 第92-98页 |
5.4 本章小结 | 第98-100页 |
第五章参考文献 | 第100-102页 |
第六章 总结 | 第102-105页 |