| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-16页 |
| ·课题背景 | 第9-10页 |
| ·国内外研究现状及分析 | 第10-15页 |
| ·碳化硅陶瓷反射镜的超精密加工 | 第10-12页 |
| ·摩擦电化学方面的研究 | 第12-13页 |
| ·摩擦化学研抛与摩擦电化学研抛方面的研究 | 第13-15页 |
| ·本课题的主要研究内容 | 第15-16页 |
| 第2章 数控圆平动研磨试验机的分析及改进 | 第16-29页 |
| ·数控圆平动研磨试验机结构及分析 | 第16-26页 |
| ·数控圆平动研磨试验机的结构 | 第16-17页 |
| ·数控圆平动研磨试验机的控制系统及原理简介 | 第17-18页 |
| ·试件上任意一点的运动规律 | 第18-20页 |
| ·数控圆平动研磨试验机的模态分析与结构改进 | 第20-26页 |
| ·数控圆平动研磨试验机调试 | 第26-28页 |
| ·传感器的标定 | 第26-27页 |
| ·数控圆平动研磨试验机的调试 | 第27-28页 |
| ·本章小结 | 第28-29页 |
| 第3章 碳化硅陶瓷研抛的电摩擦特性 | 第29-47页 |
| ·试件、试剂及试验条件 | 第29-30页 |
| ·试件 | 第29-30页 |
| ·试剂 | 第30页 |
| ·试验条件 | 第30页 |
| ·外加电压的施加方式 | 第30-31页 |
| ·SiC/HT200、SiC/金刚石砂轮配副的电摩擦特性 | 第31-45页 |
| ·第一种加电方式下SiC/HT200 配副的电摩擦特性 | 第31-34页 |
| ·第一种加电方式下SiC/金刚石砂轮配副的电摩擦特性 | 第34-36页 |
| ·第二种加电方式下SiC/HT200 配副的电摩擦特性 | 第36-41页 |
| ·第二种加电方式下SiC/金刚石砂轮配副的电摩擦特性 | 第41-45页 |
| ·本章小结 | 第45-47页 |
| 第4章 碳化硅陶瓷研抛的摩擦电化学机理分析 | 第47-53页 |
| ·碳化硅混合摩擦磨损模型的建立 | 第47-49页 |
| ·摩擦电化学研抛机理分析 | 第49-52页 |
| ·SiC/HT200 配副下的摩擦电化学研抛机理分析 | 第50-51页 |
| ·SiC/金刚石砂轮配副下的摩擦电化学研抛机理分析 | 第51-52页 |
| ·本章小结 | 第52-53页 |
| 结论 | 第53-54页 |
| 参考文献 | 第54-58页 |
| 致谢 | 第58页 |
