柔性电热微夹钳的设计和制作
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-9页 |
| 1 绪论 | 第9-20页 |
| ·课题背景及研究意义 | 第9-10页 |
| ·国内外研究现状 | 第10-20页 |
| 2 柔性电热微夹钳的设计 | 第20-43页 |
| ·柔性机构的基本概念 | 第20-21页 |
| ·柔性微夹钳的拓扑设计 | 第21-40页 |
| ·柔性微夹钳设计方法 | 第21-24页 |
| ·八杆机构柔性微夹钳设计 | 第24-27页 |
| ·十杆机构柔性微夹钳设计 | 第27-40页 |
| ·电热驱动器 | 第40-42页 |
| ·本章小结 | 第42-43页 |
| 3 电热微夹钳性能分析 | 第43-52页 |
| ·电热驱动器性能分析 | 第43-46页 |
| ·电热微夹钳的性能分析 | 第46-51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 4 UV-LIGA工艺制作电热微夹钳 | 第52-61页 |
| ·LIGA及UV-LIGA工艺介绍 | 第52-54页 |
| ·SU-8在UV-LIGA中的应用 | 第54-55页 |
| ·微电铸工艺介绍 | 第55-56页 |
| ·UV-LIGA工艺制作电热微夹钳流程及注意事项 | 第56-59页 |
| ·实验结果 | 第59-60页 |
| ·本章小结 | 第60-61页 |
| 5 电热微夹钳的测试 | 第61-68页 |
| ·微小位移测量方法—CCD图像像素对比方法 | 第61-62页 |
| ·微夹钳测试结果 | 第62-67页 |
| ·本章小结 | 第67-68页 |
| 结论 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-72页 |
| 附录A 含复铰的八杆单自由度机构的结构类型图 | 第72-73页 |
| 附录B 含复铰的十杆单自由度机构的综合 | 第73-75页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第75-76页 |
| 致谢 | 第76-77页 |
