| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-22页 |
| ·InP基光子集成技术 | 第10-14页 |
| ·InP基光子集成技术简介 | 第10-11页 |
| ·InP基光子集成技术的发展现状 | 第11-14页 |
| ·环形波导谐振腔 | 第14-17页 |
| ·环形波导谐振腔简介 | 第14-15页 |
| ·环形波导谐振腔在光子集成中的应用 | 第15-17页 |
| ·论文结构安排 | 第17-18页 |
| 参考文献 | 第18-22页 |
| 第二章 环形波导谐振腔的原理及其性能指标 | 第22-32页 |
| ·环形波导谐振腔的原理 | 第22-25页 |
| ·环形波导谐振腔工作原理 | 第22页 |
| ·环形波导谐振腔分类 | 第22-23页 |
| ·环形波导谐振腔性能指标 | 第23-24页 |
| ·环形波导谐振腔波导材料选择 | 第24-25页 |
| ·环形波导偕振腔的分析方法 | 第25页 |
| ·MMI的工作原理及应用 | 第25-29页 |
| ·MMI的工作原理 | 第26-27页 |
| ·MMI的应用 | 第27-29页 |
| 参考文献 | 第29-32页 |
| 第三章 MMI型环形波导谐振腔的特性分析 | 第32-53页 |
| ·对传统的传输矩阵法进行修正 | 第32页 |
| ·单环波导谐振腔(一环一MMI)的特性分析 | 第32-40页 |
| ·传输函数的推导 | 第32-33页 |
| ·谐振点处特性分析 | 第33-34页 |
| ·环形谐振腔各参数对传输函数的影响 | 第34-40页 |
| ·结论 | 第40页 |
| ·串联双环波导谐振腔(两个环形波导三个MMI)的特性分析 | 第40-51页 |
| ·下路通道传输函数的推导 | 第40-43页 |
| ·传输特性影响参数分析 | 第43-50页 |
| ·结论 | 第50-51页 |
| 参考文献 | 第51-53页 |
| 第四章 MMI型InP/InGaAsP环形波导谐振腔的波导设计 | 第53-65页 |
| ·环形谐振腔的外延层设计与波导结构选择 | 第53-54页 |
| ·环形谐振腔端口的设计 | 第54-56页 |
| ·单模传输 | 第55页 |
| ·偏振不敏感 | 第55-56页 |
| ·与光纤低损耗耦合 | 第56页 |
| ·MMI耦合器结构的设计 | 第56-63页 |
| ·角型MMI耦合器 | 第57页 |
| ·中间带有间隙的多模波导结构 | 第57-59页 |
| ·MMI—MZI结构 | 第59-60页 |
| ·改变MMI波导的长度 | 第60-61页 |
| ·在MMI两波导臂之间的部分刻槽 | 第61-63页 |
| ·结论 | 第63页 |
| 参考文献 | 第63-65页 |
| 第五章 MMI型InP/InGaAsP环形波导谐振腔的制备 | 第65-75页 |
| ·刻蚀工艺简介 | 第65页 |
| ·湿法刻蚀环形波导谐振腔 | 第65-73页 |
| ·InP/InGaAsP系材料的腐蚀液选择、溶液配比以及腐蚀速度测试 | 第65-69页 |
| ·环形腔的初步腐蚀 | 第69-73页 |
| ·结论 | 第73页 |
| 参考文献 | 第73-75页 |
| 致谢 | 第75-76页 |
