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脉冲激光沉积法制备SmCo薄膜及其性能研究

摘要第1-5页
Abstract第5-7页
目录第7-10页
引言第10-15页
 参考文献第13-15页
第一章 综述第15-27页
   ·SmCo基本性质第15-19页
     ·SmCo的晶体结构第15-16页
     ·SmCo的性能第16-17页
     ·不同底层的SmCo薄膜第17-19页
   ·SmCo薄膜的研究现状第19-22页
     ·SmCo薄膜制备过程中的关键因素第19-20页
     ·SmCo薄膜研究第20-22页
   ·本论文的主要内容第22-24页
 本章参考文献第24-27页
第二章 薄膜的制备及表征方法第27-38页
   ·SmCo薄膜制备方法第27-29页
     ·脉冲激光沉积(PLD)第27-28页
     ·磁控溅射法第28-29页
     ·分子束外延(MBE)法第29页
   ·样品的分析与表征手段第29-36页
     ·X射线衍射(XRD)分析第29-31页
     ·原子力显微镜(AFM)分析第31-32页
     ·扫描电子显微镜(SEM)分析第32-33页
     ·振动样品磁强计(VSM)分析第33-34页
     ·磁光克尔效应(MOKE)分析第34-36页
 本章参考文献第36-38页
第三章 薄膜制备和实验过程第38-42页
   ·PLD-450系统简介第38-39页
   ·实验方法第39-40页
     ·基片的清洗第39页
     ·PLD制备SmCo薄膜第39-40页
   ·样品的表征第40-42页
第四章 制备工艺对SmCo/Cu薄膜结构和性能的影响第42-53页
   ·退火对Cu底层结构的影响第43-44页
   ·不同成分的SmCo薄膜的结构与磁性能第44-48页
   ·Cu层厚度与退火时间对SmCo/Cu薄膜结构与性能的影响第48-50页
   ·本章小结第50-51页
 本章参考文献第51-53页
第五章 SmCo/Cu/Cr薄膜特性研究第53-62页
   ·Cr缓冲层对SmCo/Cu薄膜结构的影响第53-54页
   ·不同厚度磁性层的SmCo/Cu/Cr薄膜的形貌与结构第54-57页
   ·Cr缓冲层对SmCo/Cu薄膜磁性能的影响第57-59页
   ·本章小结第59-60页
 本章参考文献第60-62页
第六章 Fe/SmCo/Cu薄膜特性研究第62-73页
   ·Fe层厚度对薄膜结构的影响第63-64页
   ·衬底对薄膜磁性能的影响第64-66页
   ·退火对样品的结构与磁学性能影响第66-69页
   ·样品性能的时效性分析第69-70页
   ·本章小结第70-71页
 本章参考文献第71-73页
第七章 结论第73-75页
致谢第75-76页
攻读硕士期间科研成果第76页

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