溶胶电泳沉积法制备PZT膜材料技术及性能研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-17页 |
| ·铁电材料理论基础 | 第8-9页 |
| ·PZT铁电膜材料 | 第9-11页 |
| ·PZT材料结构特征 | 第9-10页 |
| ·PZT膜材料及其应用 | 第10-11页 |
| ·铁电膜材料制备技术现状 | 第11-15页 |
| ·溅射法(Sputtering) | 第12页 |
| ·脉冲激光沉积法(PLD) | 第12页 |
| ·金属有机物化学气相沉积技术(MOCVD) | 第12-13页 |
| ·电沉积法(EPD) | 第13页 |
| ·溶胶-凝胶法(Sol-Gel) | 第13-15页 |
| ·溶胶电泳沉积法 | 第15页 |
| ·本论文研究内容 | 第15-17页 |
| 第二章 PZT膜的制备方法及表征 | 第17-27页 |
| ·溶胶电泳沉积工艺 | 第17-25页 |
| ·溶胶电泳沉积工艺及原理 | 第17-18页 |
| ·PZT溶胶的制备 | 第18-21页 |
| ·PZT悬浊液的制备 | 第21-24页 |
| ·PZT膜的制备 | 第24-25页 |
| ·PZT膜的结构与性能表征 | 第25-27页 |
| ·PZT膜的结构表征 | 第25页 |
| ·PZT膜的性能表征 | 第25-27页 |
| 第三章 PZT膜的影响因素及最佳制备工艺 | 第27-38页 |
| ·原料配比对 PZT结构的影响 | 第27-28页 |
| ·前驱液浓度和加水量的影响 | 第28-31页 |
| ·悬浊液中 PZT粉末饱和含量的测定 | 第31-32页 |
| ·悬浊液ζ电位和pH值的测定 | 第32-34页 |
| ·电泳电压的影响 | 第34-36页 |
| ·电泳时间的影响 | 第36-38页 |
| 第四章 PZT膜的结构与性能分析 | 第38-48页 |
| ·XRD物相分析 | 第38-39页 |
| ·SEM表面形貌分析 | 第39-43页 |
| ·不同热处理温度对 PZT膜表面形貌的影响 | 第39-40页 |
| ·不同热处理时间对 PZT膜表面形貌的影响 | 第40-43页 |
| ·PZT膜介电性能 | 第43-45页 |
| ·热处理温度对 PZT膜介电性能的影响 | 第43-44页 |
| ·电泳时间对 PZT膜介电性能的影响 | 第44-45页 |
| ·PZT膜铁电分析 | 第45-48页 |
| 第五章 结论与展望 | 第48-50页 |
| ·结论 | 第48-49页 |
| ·展望 | 第49-50页 |
| 参考文献 | 第50-56页 |
| 攻读硕士学位期间己发表和已录用的学术论文 | 第56-57页 |
| 致谢 | 第57页 |
