| 独创性声明 | 第1-4页 |
| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-28页 |
| ·类金刚石研究背景 | 第12页 |
| ·类金刚石的结构与分类 | 第12-14页 |
| ·类金刚石的性能 | 第14-15页 |
| ·力学性能 | 第14页 |
| ·电学性能 | 第14-15页 |
| ·光学性能 | 第15页 |
| ·其它性能 | 第15页 |
| ·类金刚石的制备技术 | 第15-20页 |
| ·物理气相沉积(PVD) | 第15-18页 |
| ·化学气相沉积(CVD) | 第18-20页 |
| ·类金刚石的表征 | 第20-22页 |
| ·类金刚石的应用 | 第22-23页 |
| ·机械加工行业的应用 | 第22页 |
| ·电学上的应用 | 第22-23页 |
| ·光学上的应用 | 第23页 |
| ·医学上的应用 | 第23页 |
| ·其它方面的应用 | 第23页 |
| ·类金刚石薄膜改性 | 第23-25页 |
| ·类金刚石膜的生长机理模型 | 第25-26页 |
| ·热峰模型 | 第25页 |
| ·离子刻蚀模型 | 第25-26页 |
| ·亚表面注入模型 | 第26页 |
| ·本论文的主要研究内容 | 第26-28页 |
| 第二章 实验设备及分析方法 | 第28-38页 |
| ·实验设备 | 第28-30页 |
| ·类金刚石薄膜分析方法 | 第30-38页 |
| ·扫描电子显微镜(SEM) | 第30-31页 |
| ·原子力显微镜(AFM) | 第31页 |
| ·X射线衍射仪(XRD) | 第31-32页 |
| ·激光拉曼光谱(Raman) | 第32-33页 |
| ·微纳米力学综合测试系统(CSM) | 第33-36页 |
| ·轮廓仪(Surface Profilometer) | 第36页 |
| ·摩擦磨损试验机(Tribometer) | 第36-37页 |
| ·色差仪(Spectrophotometer) | 第37-38页 |
| 第三章 中频非平衡磁控溅射制备非氢类金刚石薄膜 | 第38-61页 |
| ·磁控溅射技术 | 第38-39页 |
| ·非平衡磁控溅射技术 | 第39-41页 |
| ·孪生中频溅射技术 | 第41页 |
| ·霍尔离子源 | 第41-42页 |
| ·石墨靶材的选择及安装 | 第42页 |
| ·薄膜的制备 | 第42-45页 |
| ·基片的选择及预处理 | 第42-43页 |
| ·霍尔源辅助中频非平衡磁控溅射制备DLC膜过渡层工艺参数的确定 | 第43页 |
| ·霍尔源辅助中频非平衡磁控溅射制备DLC膜工艺参数的确定 | 第43-45页 |
| ·霍尔源辅助中频非平衡磁控溅射制备DLC膜工艺流程 | 第45页 |
| ·基底偏压对类金刚石薄膜的影响 | 第45-49页 |
| ·薄膜表面形貌分析 | 第45-46页 |
| ·表面粗糙度分析 | 第46页 |
| ·激光拉曼光谱分析 | 第46-49页 |
| ·硬度与弹性模量 | 第49页 |
| ·基底温度对类金刚石薄膜的影响 | 第49-54页 |
| ·薄膜表面形貌分析 | 第49-50页 |
| ·表面粗糙度分析 | 第50-51页 |
| ·激光拉曼光谱分析 | 第51-53页 |
| ·硬度与弹性模量 | 第53-54页 |
| ·霍尔放电电流对类金刚石薄膜的影响 | 第54-58页 |
| ·薄膜表面形貌分析 | 第54页 |
| ·表面粗糙度分析 | 第54-55页 |
| ·激光拉曼光谱分析 | 第55-57页 |
| ·硬度与弹性模量 | 第57页 |
| ·色差分析 | 第57-58页 |
| ·本章小结 | 第58-61页 |
| ·基底偏压对类金刚石薄膜的影响 | 第58-59页 |
| ·基底温度对类金刚石薄膜的影响 | 第59页 |
| ·霍尔放电电流对类金刚石薄膜的影响 | 第59-61页 |
| 第四章 氮气对沉积类金刚石薄膜的影响 | 第61-70页 |
| ·试验工艺参数的确定 | 第61页 |
| ·沉积速率 | 第61-62页 |
| ·表面形貌分析 | 第62-63页 |
| ·激光拉曼光谱分析 | 第63-65页 |
| ·硬度与弹性模量 | 第65页 |
| ·色差分析 | 第65-67页 |
| ·a-C：N薄膜的摩擦系数 | 第67-68页 |
| ·本章小结 | 第68-70页 |
| 第五章 过渡层及不同基底对沉积类金刚石薄膜的影响 | 第70-82页 |
| ·基片的预处理 | 第70页 |
| ·试验工艺参数的确定 | 第70-72页 |
| ·过渡层相结构分析 | 第72-75页 |
| ·扫描电子显微镜及线扫描分析 | 第75-76页 |
| ·激光拉曼光谱分析 | 第76-77页 |
| ·类金刚石薄膜的结合力 | 第77-79页 |
| ·附加载荷三阶段分析 | 第77-78页 |
| ·不同基材对类金刚石薄膜结合力的影响 | 第78-79页 |
| ·类金刚石薄膜摩擦系数 | 第79-80页 |
| ·本章小结 | 第80-82页 |
| 第六章 结论与建议 | 第82-85页 |
| ·结论 | 第82-84页 |
| ·建议 | 第84-85页 |
| 参考文献 | 第85-89页 |
| 致谢 | 第89-90页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第90页 |
