| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-14页 |
| ·论文的研究对象与目标 | 第7页 |
| ·GaN材料p型掺杂的意义 | 第7-8页 |
| ·GaN材料p型掺杂的现状 | 第8-9页 |
| ·GaN材料p型掺杂面临的问题 | 第9-13页 |
| ·本论文的的研究内容与安排 | 第13-14页 |
| 第二章 GaN材料的特性和相关实验设备 | 第14-23页 |
| ·GaN材料 | 第14-18页 |
| ·实验设备 | 第18-23页 |
| 第三章 超晶格结构增强掺杂效果的机理研究 | 第23-33页 |
| ·超晶格材料简介 | 第23-24页 |
| ·超晶格材料的特殊效应 | 第24-26页 |
| ·超晶格结构掺杂机理的分析 | 第26-32页 |
| ·本章小结 | 第32-33页 |
| 第四章 AlGaN/GaN超晶格结构参数的优化与计算 | 第33-42页 |
| ·相关基础 | 第33-34页 |
| ·无极化效应时的分析与计算 | 第34-37页 |
| ·极化效应与界面应力对掺杂效果的影响 | 第37-40页 |
| ·非对称超晶格结构的分析与计算 | 第40-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 第五章 AlGaN/GaN超晶格掺Mg实验 | 第42-48页 |
| ·实验设计 | 第42-43页 |
| ·测试结果与讨论 | 第43-45页 |
| ·受主元素的激活实验 | 第45-47页 |
| ·本章小结 | 第47-48页 |
| 结束语 | 第48-49页 |
| 致谢 | 第49-50页 |
| 参考文献 | 第50-53页 |
| 研究成果 | 第53页 |