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高质量非规整多层光学薄膜自动制备的研究

摘     要第1-4页
Abstract第4-7页
1 绪 论第7-19页
   ·WDM 光纤通信系统第7-11页
   ·DWDM 窄带滤光片的制备要求第11-15页
   ·非规整薄膜滤光片的发展及应用第15-17页
   ·论文研究的主要内容第17-19页
2 薄膜光学的基本理论与技术第19-27页
   ·光学薄膜的光学特性计算第19-23页
   ·膜系设计理论第23-24页
   ·光学薄膜的制备第24-26页
   ·本章小结第26-27页
3 Leybold APS 1104 镀膜机的特性分析第27-37页
   ·先进等离子源(APS)第27-29页
   ·高速、稳定的蒸发/沉积速率第29-30页
   ·高真空的获得第30-31页
   ·非规整膜厚监控第31-35页
   ·本章小结第35-37页
4 多层非规整光学薄膜的膜系设计第37-48页
   ·多层非规整膜系设计应达到的技术要求第37-40页
   ·非规整膜系设计方法第40-44页
   ·设计实例第44-45页
   ·实验结果及分析第45-47页
   ·本章小结第47-48页
5 带限制因子膜系优化方法第48-66页
   ·带限制因子优化算法原理第48-49页
   ·恒定水平监控原理第49-52页
   ·截止滤光片膜系优化设计第52-56页
   ·多层膜任意触发点膜系的自动优化设计第56-65页
   ·本章小结第65-66页
6 总结第66-68页
致   谢第68-69页
参考文献第69-73页
附录 攻读硕士学位期间发表论文目录第73页

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