第一章 前言 | 第1-13页 |
·研究背景 | 第8页 |
·类金刚石薄膜及其激光损伤研究回顾 | 第8-11页 |
·本文主要工作内容 | 第11页 |
参考文献 | 第11-13页 |
第二章 类金刚石薄膜简介 | 第13-18页 |
·类金刚石薄膜性能及其应用 | 第13-15页 |
·准分子激光沉积类金刚石薄膜 | 第15-17页 |
参考文献 | 第17-18页 |
第三章 光学薄膜激光损伤机理简介 | 第18-30页 |
·光学薄膜对激光的吸收 | 第18-19页 |
·光学薄膜激光损伤 | 第19-22页 |
·影响光学薄膜激光损伤的主要因素 | 第22-28页 |
参考文献 | 第28-30页 |
第四章 类金刚石薄膜激光损伤实验技术 | 第30-41页 |
·几个重要概念 | 第30-35页 |
·实验中的测量技术介绍 | 第35-40页 |
参考文献 | 第40-41页 |
第五章 实验结果及分析 | 第41-63页 |
·样品介绍 | 第41-42页 |
·脉冲1064nm激光对DLC薄膜的损伤 | 第42-50页 |
·脉冲248nm激光对DLC薄膜的损伤 | 第50-55页 |
·连续10.6μm激光对DLC薄膜的损伤 | 第55-62页 |
参考文献 | 第62-63页 |
第六章 结论与展望 | 第63-64页 |
致谢 | 第64-65页 |
附录 | 第65-66页 |