| 中文摘要 | 第1-6页 |
| 英文摘要 | 第6-8页 |
| 第一章 前言 | 第8-21页 |
| 1．1 稀土永磁材料的研究概况 | 第8-10页 |
| 1．1．1 稀土永磁材料的发展历史 | 第8-9页 |
| 1．1．2 稀土永磁材料的磁性来源 | 第9页 |
| 1．1．3 SmCo永磁薄膜的研究现状 | 第9-10页 |
| 1．2 超磁致伸缩材料的研究概况 | 第10-12页 |
| 1．3 磁致伸缩起源及唯象表述 | 第12-14页 |
| 1．3．1 磁致伸缩产生机理 | 第12-13页 |
| 1．3．2 稀土离子超磁致伸缩的起源 | 第13页 |
| 1．3．3 磁致伸缩的唯象理论 | 第13-14页 |
| 1．4 超磁致伸缩薄膜的研究进展 | 第14-19页 |
| 1．4．1 超磁致伸缩薄膜的制备方法 | 第14-15页 |
| 1．4．2 超磁致伸缩薄膜的研究重点及解决途径 | 第15-17页 |
| 1．4．3 超磁致伸缩薄膜的应用 | 第17-19页 |
| 1．4．3．1 超磁致伸缩材料的应用特点 | 第17-18页 |
| 1．4．3．2 超磁致伸缩薄膜的应用 | 第18-19页 |
| 1．5 课题的来源及研究内容 | 第19-21页 |
| 1．5．1 选题依据 | 第19-20页 |
| 1．5．2 课题来源 | 第20页 |
| 1．5．3 研究内容 | 第20-21页 |
| 第二章 实验部分 | 第21-34页 |
| 2．1 磁控溅射镀膜 | 第21-24页 |
| 2．1．1 磁控溅射原理 | 第21-22页 |
| 2．1．2 磁控溅射设备 | 第22-23页 |
| 2．1．3 溅射靶材 | 第23页 |
| 2．1．4 漂洗衬底 | 第23-24页 |
| 2．1．5 直流溅射镀膜 | 第24页 |
| 2．2 薄膜的热处理 | 第24-25页 |
| 2．3 膜厚的测量 | 第25-26页 |
| 2．4 薄膜表面观测 | 第26页 |
| 2．5 结构与成分分析 | 第26页 |
| 2．6 磁性能测试 | 第26页 |
| 2．7 薄膜磁致伸缩的测量 | 第26-34页 |
| 2．7．1 悬臂梁法测量薄膜磁致伸缩系数原理 | 第26-29页 |
| 2．7．2 电容法测量挠度 | 第29-31页 |
| 2．7．3 薄膜磁致伸缩系数测量的标定 | 第31-32页 |
| 2．7．4 薄膜磁致伸缩系数的测量 | 第32页 |
| 2．7．5 薄膜磁致伸缩系数测量的误差分析 | 第32-34页 |
| 第三章 结果与讨论 | 第34-58页 |
| 3．1 SmCo薄膜的制备工艺研究 | 第34-37页 |
| 3．1．1 溅射工艺参数的正交设计及方差分析 | 第34-35页 |
| 3．1．2 溅射功率对薄膜沉积速率的影响 | 第35页 |
| 3．1．3 靶基距对薄膜沉积速率的影响 | 第35-36页 |
| 3．1．4 氩气压力对薄膜沉积速率的影响 | 第36页 |
| 3．1．5 溅射工艺参数对薄膜表观质量的影响 | 第36-37页 |
| 3．2 SmCo薄膜的磁性能研究 | 第37-43页 |
| 3．2．1 SmCo薄膜的磁性能 | 第37-39页 |
| 3．2．2 成分对SmCo薄膜磁性能的影响 | 第39-40页 |
| 3．2．3 热处理对SmCo薄膜磁性能和结构的影响 | 第40-43页 |
| 3．3 TbDyFe薄膜磁致伸缩性能研究 | 第43-52页 |
| 3．3．1 TbDyFe薄膜的制备 | 第43-44页 |
| 3．3．2 薄膜磁致伸缩系数测量的磁弹性模量修正 | 第44-45页 |
| 3．3．2．1 薄膜磁致伸缩系数测量的Matlab程序编写 | 第44页 |
| 3．3．2．2 薄膜磁致伸缩系数测量的磁弹性模量修正 | 第44-45页 |
| 3．3．3 薄膜厚度对TbDyFe薄膜磁致伸缩效应的影响 | 第45-46页 |
| 3．3．4 热处理对TbDyFe薄膜磁致伸缩效应的影响 | 第46-50页 |
| 3．3．5 衬底粗糙度对TbDyFe薄膜磁致伸缩效应的影响 | 第50-52页 |
| 3．4 SmCo／TbDyFe复合薄膜磁致伸缩性能研究 | 第52-58页 |
| 3．4．1 SmCo的复合对TbDyFe薄膜磁致伸缩特性的影响 | 第52-56页 |
| 3．4．2 热处理对复合薄膜磁致伸缩性能的影响 | 第56页 |
| 3．4．3 衬底粗糙度对复合薄膜磁致伸缩性能的影响 | 第56-58页 |
| 第四章 结论 | 第58-59页 |
| 第五章 工作展望 | 第59-60页 |
| 致谢 | 第60-61页 |
| 附录 | 第61-64页 |
| 参考文献 | 第64-66页 |
