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尘埃粒子在双频CCP鞘层中的特性研究

摘要第1-5页
Abstract第5-8页
1 绪论第8-17页
   ·双频容性耦合等离子体的原理和特性第8-10页
   ·射频等离子体鞘层的物理特性及研究进展第10-13页
   ·尘埃等离子体概述及研究意义第13-14页
   ·尘埃等离子体的发展与现状第14-16页
   ·本文的研究内容和结构安排第16-17页
2 单一尘埃粒子在双频CCP鞘层中的充电和运动特性第17-40页
   ·双频CCP鞘层模型第17-28页
     ·双频CCP鞘层的解析模型第17-23页
       ·基本理论模型第17-21页
       ·计算结果及讨论第21-23页
     ·双频CCP鞘层的流体力学模型第23-28页
       ·基本理论模型第24-26页
       ·计算结果及讨论第26-28页
   ·单个尘埃粒子在双频CCP鞘层中的充电、受力和运动第28-38页
     ·尘埃粒子的充电过程第29-32页
       ·基本理论第29-30页
       ·计算结果及讨论第30-32页
     ·尘埃粒子的受力情况第32-34页
     ·尘埃粒子的运动特性讨论第34-38页
   ·小结第38-40页
3 多个尘埃粒子对双频CCP鞘层的影响第40-46页
   ·基本理论模型第40-42页
   ·计算结果和讨论第42-45页
   ·小结第45-46页
4 结论与展望第46-47页
   ·本文主要结论第46页
   ·展望第46-47页
参考文献第47-50页
攻读硕士学位期间发表学术论文情况第50-51页
致谢第51-52页

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