| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-17页 |
| ·双频容性耦合等离子体的原理和特性 | 第8-10页 |
| ·射频等离子体鞘层的物理特性及研究进展 | 第10-13页 |
| ·尘埃等离子体概述及研究意义 | 第13-14页 |
| ·尘埃等离子体的发展与现状 | 第14-16页 |
| ·本文的研究内容和结构安排 | 第16-17页 |
| 2 单一尘埃粒子在双频CCP鞘层中的充电和运动特性 | 第17-40页 |
| ·双频CCP鞘层模型 | 第17-28页 |
| ·双频CCP鞘层的解析模型 | 第17-23页 |
| ·基本理论模型 | 第17-21页 |
| ·计算结果及讨论 | 第21-23页 |
| ·双频CCP鞘层的流体力学模型 | 第23-28页 |
| ·基本理论模型 | 第24-26页 |
| ·计算结果及讨论 | 第26-28页 |
| ·单个尘埃粒子在双频CCP鞘层中的充电、受力和运动 | 第28-38页 |
| ·尘埃粒子的充电过程 | 第29-32页 |
| ·基本理论 | 第29-30页 |
| ·计算结果及讨论 | 第30-32页 |
| ·尘埃粒子的受力情况 | 第32-34页 |
| ·尘埃粒子的运动特性讨论 | 第34-38页 |
| ·小结 | 第38-40页 |
| 3 多个尘埃粒子对双频CCP鞘层的影响 | 第40-46页 |
| ·基本理论模型 | 第40-42页 |
| ·计算结果和讨论 | 第42-45页 |
| ·小结 | 第45-46页 |
| 4 结论与展望 | 第46-47页 |
| ·本文主要结论 | 第46页 |
| ·展望 | 第46-47页 |
| 参考文献 | 第47-50页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第50-51页 |
| 致谢 | 第51-52页 |