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集成MEMS开关的可重构分形天线的设计及制作

摘要第1-8页
ABSTRACT第8-9页
目录第9-11页
第一章 绪论第11-18页
   ·本课题的研究背景和意义第11-12页
   ·国内外研究现状第12-14页
   ·本论文研究思路和研究内容第14-15页
 参考文献第15-18页
第二章 分形技术和分形天线第18-33页
   ·分形的概念和特征第18-21页
     ·分形的定义第18页
     ·分形的特征第18-20页
     ·分形的应用第20-21页
   ·几种经典的分形天线和分形天线的特点第21-24页
     ·Koch单极和双极天线第21-22页
     ·分形环天线第22页
     ·分形树天线第22-23页
     ·分形天线阵列第23-24页
     ·分形天线的优点第24页
   ·分形天线的设计和多频特性分析第24-30页
     ·等边三角形微带天线第24-25页
     ·Sierpinski分形天线和加载Koch线元的分形天线设计第25-30页
   ·本章小结第30-31页
 参考文献第31-33页
第三章 RF MEMS开关理论第33-46页
   ·MEMS技术和RF MEME开关理论第33-35页
   ·共面波导传输线理论第35-37页
     ·共面波导的基本结构第35页
     ·共面波导的几何尺寸设计第35-37页
   ·RF MEMS开关基本原理第37-40页
     ·串联电阻接触型MEMS开关第37-39页
     ·并联的电容式MEMS开关第39-40页
   ·悬臂梁式MEMS开关的设计和工艺制作第40-44页
     ·悬臂梁式开关的设计第40-42页
     ·悬臂梁式开关的版图绘制和工艺制作第42-44页
   ·本章总结第44-45页
 参考文献第45-46页
第四章 可重构分形天线的设计和制作第46-71页
   ·可重构天线的概念第46-47页
   ·集成MEMS开关的可重构分形天线的设计第47-58页
     ·MEMS开关连接Sierpinski分形天线和Koch加载线元第47-53页
     ·MEMS开关位于Sierpinski分形天线分形处第53-58页
     ·可重构分形天线设计分析第58页
   ·集成MEMS开关的可重构分形天线的工艺制作第58-66页
     ·掩膜版的制作第58-60页
     ·可重构分形天线的工作流程第60-65页
     ·可重构分形天线制备工艺关键第65-66页
   ·可重构分形天线测试第66-69页
     ·RF MEMS开关的下拉电压测试第66-67页
     ·可重构分形天线不加偏压时的S11测试第67-69页
   ·本章小结第69-70页
 参考文献第70-71页
第五章 论文总结和展望第71-73页
   ·本论文总结第71页
   ·展望第71-73页
作者研究生期间发表的论文第73-74页
致谢第74页

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