| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-23页 |
| ·课题来源 | 第8页 |
| ·课题背景 | 第8-9页 |
| ·C-MEMS 工艺的研究概况 | 第9-22页 |
| ·论文的研究内容 | 第22-23页 |
| 2 C-MEMS 工艺原理研究 | 第23-28页 |
| ·C-MEMS 基本工艺流程 | 第23-24页 |
| ·厚胶光刻工艺 | 第24-26页 |
| ·光刻胶热解工艺 | 第26-27页 |
| ·小结 | 第27-28页 |
| 3 C-MEMS 工艺制备碳微结构实验研究 | 第28-40页 |
| ·前期工艺研究 | 第28-31页 |
| ·柱状碳微电极阵列的制备 | 第31-35页 |
| ·应用C-MEMS 工艺制备悬浮碳微结构 | 第35-39页 |
| ·小结 | 第39-40页 |
| 4 C-MEMS 技术难点讨论 | 第40-51页 |
| ·图形脱层 | 第40-47页 |
| ·其他技术难点 | 第47-49页 |
| ·小结 | 第49-51页 |
| 5 总结与展望 | 第51-53页 |
| ·全文总结 | 第51-52页 |
| ·展望 | 第52-53页 |
| 致谢 | 第53-54页 |
| 参考文献 | 第54-57页 |
| 附录 攻读硕士学位期间发表论文 | 第57页 |