新型气体传感器的研究
| 致谢 | 第1-6页 |
| 摘要 | 第6-7页 |
| Abstract | 第7-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-25页 |
| ·传感器 | 第10-12页 |
| ·传感器的概念 | 第10页 |
| ·传感器的发展历史与现状 | 第10-12页 |
| ·气体传感器 | 第12-18页 |
| ·气体传感器的发展 | 第12-13页 |
| ·气体传感器的主要特性 | 第13-14页 |
| ·气体传感器的分类及主要原理 | 第14-17页 |
| ·气体传感器的发展新趋势 | 第17-18页 |
| ·湿度传感器 | 第18-22页 |
| ·湿度的定义 | 第18-19页 |
| ·湿度传感器的发展过程 | 第19-20页 |
| ·湿度传感器的分类及其原理 | 第20-22页 |
| ·湿度传感器的发展趋势 | 第22页 |
| ·本课题研究内容 | 第22-25页 |
| ·研究背景 | 第22-23页 |
| ·研究意义 | 第23-25页 |
| 第二章 微间隙气敏传感器原理 | 第25-39页 |
| ·电镀系统的设计背景 | 第25-31页 |
| ·纳米间隙电极的制作 | 第25页 |
| ·微间隔器件现有制备方法 | 第25-28页 |
| ·本课题所用方法的提出 | 第28-31页 |
| ·基于气体电离的气体传感器实验原理 | 第31-39页 |
| ·气体电离 | 第31-32页 |
| ·尖端放电中的极性效应 | 第32-34页 |
| ·气体电离的应用 | 第34-36页 |
| ·气体的预电离效应 | 第36-39页 |
| 第三章 系统设计与实现 | 第39-45页 |
| ·系统组成 | 第39页 |
| ·电镀系统设计 | 第39-43页 |
| ·电极选材 | 第39页 |
| ·电镀理论 | 第39-41页 |
| ·电镀系统设计 | 第41-43页 |
| ·击穿系统设计 | 第43-45页 |
| ·电击原理 | 第43页 |
| ·电击系统设计 | 第43-45页 |
| 第四章 实验方法 | 第45-52页 |
| ·电镀实验方法 | 第45-46页 |
| ·电镀步骤 | 第45页 |
| ·注意事项 | 第45-46页 |
| ·电击实验 | 第46-52页 |
| ·强烈放电检测气体 | 第46-48页 |
| ·气敏电阻特性检测实验 | 第48页 |
| ·强烈放电时光谱法检测气体 | 第48-49页 |
| ·气体预电离响应 | 第49-51页 |
| ·实验注意事项 | 第51-52页 |
| 第五章 实验结果与讨论 | 第52-60页 |
| ·电镀实验结果与分析 | 第52-54页 |
| ·电击实验结果与分析 | 第54-60页 |
| ·强烈放电检测气体实验结果分析 | 第54-55页 |
| ·气敏电阻特性检测实验 | 第55-57页 |
| ·强烈放电时光谱法检测气体 | 第57页 |
| ·气体预放电响应 | 第57-60页 |
| 第六章 发展与展望 | 第60-63页 |
| ·传感器技术的发展方向与特点 | 第60-62页 |
| ·本课题实验结果的总结与展望 | 第62-63页 |
| 作者简介 | 第63页 |
| 研究生阶段发表论文 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-66页 |
