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氨化Si基Ga2O3/Ta薄膜制备一维GaN纳米结构研究

摘要第1-7页
Abstract第7-9页
第一章 绪论第9-29页
   ·氮化镓材料的基本性质第9-13页
   ·氮化镓材料的研究进展第13-17页
   ·一维氮化镓纳米材料的生长工艺及研究概况第17-26页
   ·本论文的选题依据第26-29页
第二章 实验设备与测试方法第29-35页
   ·实验设备第29-31页
   ·实验中所使用的主要材料和试剂第31-32页
   ·样品的测试和表征第32-35页
第三章 在Ta中间层上合成一维GaN纳米结构第35-49页
   ·氨化溅射Ga_2O_3薄膜合成一维GaN纳米结构第35页
   ·合成的GaN纳米结构的特性分析第35-41页
   ·影响一维GaN纳米结构的因素第41-48页
   ·合成的GaN纳米结构的生长机制初探第48-49页
第四章 结论第49-53页
   ·本文的主要研究结果第49-50页
   ·对今后工作的建议第50-53页
参考文献第53-62页
攻读硕士期间发表的论文统计第62-66页
致谢第66页

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