| 中文摘要 | 第1-11页 |
| ABSTRACT | 第11-14页 |
| 符号说明 | 第14-15页 |
| 第一章 绪论 | 第15-22页 |
| 参考文献 | 第20-22页 |
| 第二章 光波导理论及实验方法 | 第22-40页 |
| ·平面光波导理论 | 第23-28页 |
| ·离子注入技术 | 第28-30页 |
| ·棱镜耦合法 | 第30-32页 |
| ·端面耦合法 | 第32-34页 |
| ·平面波导折射率分布拟合方法—反射计算法(RCM) | 第34-36页 |
| ·光波导中传输损耗的测量 | 第36-39页 |
| 参考文献 | 第39-40页 |
| 第三章 激光与激光退火简介 | 第40-48页 |
| ·激光的产生及特点 | 第41-42页 |
| ·激光器的构成及种类 | 第42-43页 |
| ·ND:YAG激光器介绍 | 第43-45页 |
| ·激光退火介绍 | 第45-47页 |
| 参考文献 | 第47-48页 |
| 第四章 铜离子注入铌酸锂和掺镁铌酸锂的退火研究 | 第48-60页 |
| ·铜注x切铌酸锂的退火研究 | 第49-53页 |
| ·铜注z切铌酸锂的退火研究 | 第53-55页 |
| ·铜注z切掺镁铌酸锂的退火研究 | 第55-59页 |
| 参考文献 | 第59-60页 |
| 第五章 MEV低剂量C离子注入铌酸锂的退火行为研究 | 第60-70页 |
| ·碳离子注铌酸锂光波导的退火行为研究 | 第61-65页 |
| ·碳离子注掺镁铌酸锂的退火研究 | 第65-69页 |
| 参考文献 | 第69-70页 |
| 第六章 硅氦共注铌酸锂光波导的研究 | 第70-82页 |
| ·实验过程 | 第71页 |
| ·结果与讨论 | 第71-81页 |
| 参考文献 | 第81-82页 |
| 第七章 总结 | 第82-83页 |
| 附录、附图表 | 第83-86页 |
| 攻读硕士学位论文期间发表和投稿的论文 | 第86-87页 |
| 致谢 | 第87-88页 |
| 学位论文评阅及答辩情况表 | 第88页 |