MEMS复合式振动能量采集器的设计及模拟
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-20页 |
| ·研究背景及意义 | 第11-12页 |
| ·国内外研究进展 | 第12-19页 |
| ·压电式 | 第12-16页 |
| ·电磁式 | 第16-18页 |
| ·可变电容式 | 第18-19页 |
| ·本论文的主要研究任务 | 第19-20页 |
| 第二章 振动能量采集器的设计与数学模型 | 第20-43页 |
| ·引言 | 第20页 |
| ·振动-电能转化的分析模型 | 第20-23页 |
| ·弹簧质量块阻尼模型 | 第20页 |
| ·简谐激振作用下的系统响应 | 第20-22页 |
| ·最大提取功率及振动-电能转化的效率计算 | 第22-23页 |
| ·复合式能量采集器的结构设计 | 第23-33页 |
| ·整体结构设计方案 | 第23-25页 |
| ·复合式能量采集的结构设计中的关键参数 | 第25-27页 |
| ·机械阻尼与机械品质因素 | 第27-33页 |
| ·复合式能量采集器的电路布线方案 | 第33页 |
| ·能量采集器的数学建模 | 第33-42页 |
| ·压电式能量采集器的数学建模 | 第34-37页 |
| ·电容式能量采集器的数学建模 | 第37-40页 |
| ·复合式能量采集器的数学建模 | 第40-42页 |
| ·小结 | 第42-43页 |
| 第三章 振动能量采集器的仿真模拟 | 第43-63页 |
| ·引言 | 第43-44页 |
| ·ANSYS静力分析及模态分析 | 第44-54页 |
| ·有限元分析流程 | 第44-45页 |
| ·建模方案 | 第45-48页 |
| ·非线性静态分析 | 第48-52页 |
| ·模态分析 | 第52-54页 |
| ·SIMULINK模拟分析 | 第54-62页 |
| ·压电式能量采集器的性能仿真 | 第55-57页 |
| ·可变电容式能量采集器的性能仿真 | 第57-60页 |
| ·复合式能量采集器的性能仿真 | 第60-62页 |
| ·小结 | 第62-63页 |
| 第四章 复合式振动能量采集器的制作工艺研究 | 第63-83页 |
| ·引言 | 第63页 |
| ·复合式能量采集器工艺流程设计 | 第63-71页 |
| ·硅片工艺流程 | 第63-67页 |
| ·下玻璃片工艺流程 | 第67页 |
| ·上玻璃片工艺流程 | 第67-69页 |
| ·键合及切割工艺流程 | 第69-70页 |
| ·掩模图样 | 第70-71页 |
| ·工艺流程技术难点研究 | 第71-82页 |
| ·溶胶凝胶法制备PZT压电薄膜 | 第71-75页 |
| ·7740玻璃腐蚀工艺研究 | 第75-79页 |
| ·阳极键合工艺研究 | 第79-82页 |
| ·小结 | 第82-83页 |
| 第五章 总结与展望 | 第83-85页 |
| 附录A ANSYS命令流 | 第85-90页 |
| 附录B MATLAB命令流 | 第90-95页 |
| 参考文献 | 第95-98页 |
| 致谢 | 第98-99页 |
| 攻读硕士学位期间已发表或录用的论文 | 第99页 |
