多片式MOCVD系统温度控制方法研究与实现
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-13页 |
| ·半导体材料的发展 | 第7页 |
| ·MOCVD 生长技术 | 第7-8页 |
| ·MOCVD 系统组成 | 第8-10页 |
| ·MOCVD 控制系统 | 第10-11页 |
| ·本文章节安排 | 第11-13页 |
| 第二章 多片式MOCVD 温度控制系统组成与特点 | 第13-17页 |
| ·MOCVD 设备反应室与加热原理 | 第13-14页 |
| ·MOCVD 反应室结构 | 第13页 |
| ·高频感应加热原理 | 第13-14页 |
| ·MOCVD 温度控制对象与组成 | 第14-16页 |
| ·MOCVD 温度控制对象 | 第14页 |
| ·MOCVD 温度控制方式 | 第14-15页 |
| ·MOCVD 温度控制组成 | 第15-16页 |
| ·MOCVD 温度控制系统特点 | 第16页 |
| ·本章小结 | 第16-17页 |
| 第三章 多片式MOCVD 温度控制系统数学模型 | 第17-27页 |
| ·数学模型建立方法 | 第17-18页 |
| ·系统辨识原理 | 第18-19页 |
| ·稳态模型建立 | 第19-20页 |
| ·动态模型建立 | 第20-26页 |
| ·实验设计 | 第21-22页 |
| ·模型结构辨识 | 第22-23页 |
| ·模型参数估计 | 第23-25页 |
| ·模型验证 | 第25-26页 |
| ·本章小结 | 第26-27页 |
| 第四章 多片式MOCVD 系统温度控制方法研究 | 第27-47页 |
| ·基于PID 的改进方法研究 | 第27-32页 |
| ·PID 控制原理 | 第27-28页 |
| ·积分分离式PID | 第28-29页 |
| ·变速积分式PID | 第29-30页 |
| ·仿真与总结 | 第30-32页 |
| ·基于模糊逻辑控制方法研究 | 第32-40页 |
| ·模糊控制原理 | 第32-33页 |
| ·模糊控制方法 | 第33-35页 |
| ·模糊自适应PID 方法 | 第35-38页 |
| ·仿真与总结 | 第38-40页 |
| ·基于Smith 控制方法研究 | 第40-44页 |
| ·预估控制原理 | 第40-41页 |
| ·变速积分式PID+Smith 方法 | 第41-42页 |
| ·模糊自适应PID+Smith 方法 | 第42页 |
| ·改进的模糊自适应PID+Smith 方法 | 第42-43页 |
| ·仿真与总结 | 第43-44页 |
| ·基于免疫原理控制方法研究 | 第44-46页 |
| ·免疫反馈机制 | 第44页 |
| ·模糊免疫反馈自调整原理 | 第44-45页 |
| ·模糊免疫控制器设计 | 第45-46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 第五章 多片式MOCVD 系统温度控制实现 | 第47-63页 |
| ·温度控制操作界面 | 第47-49页 |
| ·手动及自动方式 | 第47-48页 |
| ·温度查看修改 | 第48页 |
| ·温度实时曲线 | 第48-49页 |
| ·温度控制实现思想 | 第49-51页 |
| ·温度控制程序设计 | 第51-59页 |
| ·手动控制程序 | 第51-52页 |
| ·自动控制程序 | 第52-56页 |
| ·渐变处理程序 | 第56页 |
| ·数据处理程序 | 第56-59页 |
| ·温度控制的实现 | 第59-62页 |
| ·PID 参数在线整定 | 第60页 |
| ·量化因子比例因子在线整定 | 第60-61页 |
| ·运行结果 | 第61-62页 |
| ·本章小结 | 第62-63页 |
| 第六章 总结与展望 | 第63-65页 |
| 致谢 | 第65-67页 |
| 参考文献 | 第67-70页 |
| 研究成果 | 第70-71页 |
