用于FAIMS系统的微型离子化单元的研究
| 中文摘要 | 第1-8页 |
| ABSTRACT | 第8-13页 |
| 1 引言 | 第13-26页 |
| ·研究背景 | 第13-17页 |
| ·离子迁移谱技术 | 第17-21页 |
| ·离子迁移谱技术简介 | 第17-18页 |
| ·离子迁移谱技术的发展历程 | 第18-21页 |
| ·FAIMS离子源的研究现状 | 第21-23页 |
| ·论文的主要内容和结构 | 第23-26页 |
| 2 FAIMS离子源的选型设计 | 第26-38页 |
| ·FAIMS系统工作原理 | 第26-32页 |
| ·离子迁移率 | 第26-28页 |
| ·FAIMS系统离子分离数学模型 | 第28-32页 |
| ·FAIMS系统的构成 | 第32页 |
| ·FAIMS系统对离子源的要求 | 第32-33页 |
| ·可工作于大气压环境下的离子化方法 | 第33-36页 |
| ·放射性离子化 | 第33-34页 |
| ·紫外灯离子化 | 第34页 |
| ·激光解析离子化 | 第34-35页 |
| ·电喷雾离子化 | 第35页 |
| ·电晕放电离子化 | 第35-36页 |
| ·大气压辉光放电离子化 | 第36页 |
| ·适用于FAIMS系统的离子化方法的选择 | 第36-37页 |
| ·本章小结 | 第37-38页 |
| 3 电晕放电离子源的研究 | 第38-75页 |
| ·电晕放电离子源的提出 | 第38-39页 |
| ·开口对气体放电产生的影响 | 第39-53页 |
| ·径向电场分布情况 | 第40-43页 |
| ·内电极附近电场能量分布情况 | 第43-49页 |
| ·外电极附近电场能量分布情况 | 第49-53页 |
| ·实验装置设计 | 第53-55页 |
| ·电极结构精密度对放电稳定性的影响 | 第53-54页 |
| ·电晕放电离子源的设计和加工 | 第54-55页 |
| ·改进型线—筒电晕放电的研究 | 第55-60页 |
| ·放电现象 | 第55-56页 |
| ·改进型线—筒电晕放电机理的分析 | 第56-60页 |
| ·电晕放电离子源实验研究 | 第60-73页 |
| ·进样系统设计 | 第60页 |
| ·质谱实验 | 第60-69页 |
| ·离子源稳定性测试 | 第69-73页 |
| ·空气对离子源的影响 | 第73-74页 |
| ·本章小结 | 第74-75页 |
| 4 大气压辉光放电离子源及其聚焦系统的研究 | 第75-98页 |
| ·大气压辉光放电简介 | 第75-76页 |
| ·大气压辉光放电特性的研究 | 第76-80页 |
| ·正辉光放电 | 第77-78页 |
| ·负辉光放电 | 第78-80页 |
| ·等离子体光谱分析 | 第80-87页 |
| ·振动温度计算原理 | 第80-81页 |
| ·转动温度计算原理 | 第81-85页 |
| ·光谱实验结果及分析 | 第85-87页 |
| ·大气压辉光放电离子源质谱实验研究 | 第87-89页 |
| ·离子聚焦系统研究 | 第89-94页 |
| ·在FAIMS系统中离子聚焦的意义 | 第89-90页 |
| ·离子聚焦系统的设计及其仿真研究 | 第90-94页 |
| ·离子聚焦系统实验验证 | 第94-97页 |
| ·实验设计 | 第94-95页 |
| ·静电计实验 | 第95-97页 |
| ·本章小结 | 第97-98页 |
| 5 MEMS离子源的设计和工艺研究 | 第98-109页 |
| ·MEMS离子源结构设计 | 第98-103页 |
| ·沿面放电的防治 | 第98-101页 |
| ·电场仿真计算 | 第101-103页 |
| ·MEMS离子源加工工艺 | 第103-106页 |
| ·器件实现 | 第106-108页 |
| ·本章小结 | 第108-109页 |
| 6 总结与展望 | 第109-112页 |
| ·全文总结 | 第109-111页 |
| ·未来工作展望 | 第111-112页 |
| 参考文献 | 第112-123页 |
| 攻读学位期间发表的论文和完成的工作 | 第123-124页 |
| 作者简历 | 第124-126页 |
| 学位论文数据集 | 第126页 |