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用于FAIMS系统的微型离子化单元的研究

中文摘要第1-8页
ABSTRACT第8-13页
1 引言第13-26页
   ·研究背景第13-17页
   ·离子迁移谱技术第17-21页
     ·离子迁移谱技术简介第17-18页
     ·离子迁移谱技术的发展历程第18-21页
   ·FAIMS离子源的研究现状第21-23页
   ·论文的主要内容和结构第23-26页
2 FAIMS离子源的选型设计第26-38页
   ·FAIMS系统工作原理第26-32页
     ·离子迁移率第26-28页
     ·FAIMS系统离子分离数学模型第28-32页
     ·FAIMS系统的构成第32页
   ·FAIMS系统对离子源的要求第32-33页
   ·可工作于大气压环境下的离子化方法第33-36页
     ·放射性离子化第33-34页
     ·紫外灯离子化第34页
     ·激光解析离子化第34-35页
     ·电喷雾离子化第35页
     ·电晕放电离子化第35-36页
     ·大气压辉光放电离子化第36页
   ·适用于FAIMS系统的离子化方法的选择第36-37页
   ·本章小结第37-38页
3 电晕放电离子源的研究第38-75页
   ·电晕放电离子源的提出第38-39页
   ·开口对气体放电产生的影响第39-53页
     ·径向电场分布情况第40-43页
     ·内电极附近电场能量分布情况第43-49页
     ·外电极附近电场能量分布情况第49-53页
   ·实验装置设计第53-55页
     ·电极结构精密度对放电稳定性的影响第53-54页
     ·电晕放电离子源的设计和加工第54-55页
   ·改进型线—筒电晕放电的研究第55-60页
     ·放电现象第55-56页
     ·改进型线—筒电晕放电机理的分析第56-60页
   ·电晕放电离子源实验研究第60-73页
     ·进样系统设计第60页
     ·质谱实验第60-69页
     ·离子源稳定性测试第69-73页
   ·空气对离子源的影响第73-74页
   ·本章小结第74-75页
4 大气压辉光放电离子源及其聚焦系统的研究第75-98页
   ·大气压辉光放电简介第75-76页
   ·大气压辉光放电特性的研究第76-80页
     ·正辉光放电第77-78页
     ·负辉光放电第78-80页
   ·等离子体光谱分析第80-87页
     ·振动温度计算原理第80-81页
     ·转动温度计算原理第81-85页
     ·光谱实验结果及分析第85-87页
   ·大气压辉光放电离子源质谱实验研究第87-89页
   ·离子聚焦系统研究第89-94页
     ·在FAIMS系统中离子聚焦的意义第89-90页
     ·离子聚焦系统的设计及其仿真研究第90-94页
   ·离子聚焦系统实验验证第94-97页
     ·实验设计第94-95页
     ·静电计实验第95-97页
   ·本章小结第97-98页
5 MEMS离子源的设计和工艺研究第98-109页
   ·MEMS离子源结构设计第98-103页
     ·沿面放电的防治第98-101页
     ·电场仿真计算第101-103页
   ·MEMS离子源加工工艺第103-106页
   ·器件实现第106-108页
   ·本章小结第108-109页
6 总结与展望第109-112页
   ·全文总结第109-111页
   ·未来工作展望第111-112页
参考文献第112-123页
攻读学位期间发表的论文和完成的工作第123-124页
作者简历第124-126页
学位论文数据集第126页

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