干涉型集成光波导器件设计与实验研究
| 致谢 | 第1-6页 |
| 摘要 | 第6-7页 |
| Abstract | 第7-9页 |
| 目录 | 第9-11页 |
| 1 绪论 | 第11-29页 |
| ·课题研究的目的和意义 | 第11-12页 |
| ·研究背景和状况 | 第12-27页 |
| ·论文各部分的主要内容 | 第27-29页 |
| 2 光波导基本理论及数值模拟方法 | 第29-50页 |
| ·介质光波导类型 | 第29-33页 |
| ·射线法对介质光波导模式的分析 | 第33-40页 |
| ·电磁理论对光波导模式的分析 | 第40-46页 |
| ·光场传输的数值模拟方法——BPM | 第46-49页 |
| ·普通BPM | 第47-48页 |
| ·极坐标下近轴BPM | 第48-49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 3 光波导间倏逝波耦合研究 | 第50-61页 |
| ·耦合模理论 | 第50-54页 |
| ·倏逝波耦合的数值模拟 | 第54-60页 |
| ·直波导的耦合情况分析 | 第56-57页 |
| ·弯曲波导的耦合情况分析 | 第57-60页 |
| ·本章小结 | 第60-61页 |
| 4 SOI脊型光波导特性研究 | 第61-75页 |
| ·SOI脊型光波导介绍 | 第61页 |
| ·SOI脊型光波导的单模条件研究 | 第61-70页 |
| ·对现有的单模条件回顾 | 第62-66页 |
| ·用FDM方法研究计算单模条件 | 第66-70页 |
| ·我们的计算结果和讨论 | 第70-74页 |
| ·本章小结 | 第74-75页 |
| 5 多模干涉耦合器的优化设计 | 第75-98页 |
| ·MMI耦合器的基本原理 | 第75-83页 |
| ·自成像理论的近似误差分析和参数扫描法的优化设计 | 第83-88页 |
| ·基因算法GA的基本原理 | 第88-90页 |
| ·基因算法在MMI优化设计中的应用 | 第90-97页 |
| ·本章小结 | 第97-98页 |
| 6 集成平面光波导器件的制作工艺研究 | 第98-125页 |
| ·概述 | 第98页 |
| ·基于二氧化硅材料的掩埋型波导的制作 | 第98-111页 |
| ·膜层的生长 | 第99-101页 |
| ·波导图形的成型 | 第101-103页 |
| ·波导图形的形成 | 第103-104页 |
| ·芯层的刻蚀后处理及包层的生长 | 第104-105页 |
| ·掩埋型二氧化硅波导制作结果 | 第105-111页 |
| ·Polymer聚合物光波导的实验制作 | 第111-124页 |
| ·基于传统SiO2波导制作工艺制作聚合物光波导 | 第111-112页 |
| ·基于SU-8材料的聚合物光波导的制作 | 第112-124页 |
| ·本章小结 | 第124-125页 |
| 7 总结与展望 | 第125-127页 |
| 参考文献 | 第127-137页 |
| 博士在读期间发表的论文 | 第137页 |
