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脉冲电沉积Cu/In/Ga金属预制层硒化硫化制备CIGSe薄膜的研究

摘要第4-6页
Abstract第6-7页
第一章 引言第11-21页
    第一节 Cu(In,Ga)Se_2薄膜太阳能电池的发展历程及研究进展第11-15页
    第二节 电沉积法制备CIGSe薄膜太阳电池研究进展第15-17页
    第三节 分步电沉积制备CIGSe薄膜太阳电池存在的主要问题第17-20页
    第四节 本论文研究内容及论文结构第20-21页
第二章 电沉积法制备CIGSe薄膜基本原理和方法第21-32页
    第一节 脉冲电沉积Cu/In/Ga金属预制层基本原理第21-27页
        2.1.1 电沉积原理第21-24页
        2.1.2 脉冲电沉积基本原理第24-25页
        2.1.3 Cu/In/Ga金属预制层制备方法第25-26页
        2.1.4 电流效率计算第26-27页
    第二节 CIGSe薄膜及太阳电池制备方法第27-30页
        2.2.1 CIGSe吸收层硒化方法第27页
        2.2.2 CIGSe吸收层硫化方法第27-28页
        2.2.3 CIGSe薄膜太阳电池制备方法第28-30页
    第三节 CIGSe薄膜材料和器件测试方法第30-32页
        2.3.1 CIGSe薄膜材料测试方法第30-31页
        2.3.2 CIGSe器件测试方法第31-32页
第三章 脉冲电沉积制备Cu/In/Ga金属预制层的研究第32-70页
    第一节 Mo衬底上脉冲电沉积Cu的研究第32-44页
        3.1.1 Mo衬底对Cu薄膜沉积的影响第33-35页
        3.1.2 脉冲电流密度对Cu层沉积的影响第35-37页
        3.1.3 脉冲频率对Cu层沉积的影响第37-40页
        3.1.4 不同形貌Cu薄膜对CIGSe薄膜及器件的影响第40-44页
    第二节 Mo/Cu衬底上脉冲电沉积In的研究第44-54页
        3.2.1 脉冲电流密度对In层沉积的影响第47-50页
        3.2.2 脉冲频率对In层沉积的影响第50-52页
        3.2.3 不同形貌In对CIGSe薄膜及器件的影响第52-54页
    第三节 Mo/Cu/In衬底上脉冲电沉积Ga的研究第54-68页
        3.3.1 Cu/In衬底对Ga沉积的影响第54-58页
        3.3.2 脉冲电沉积Ga的研究第58-60页
        3.3.3 脉冲电流密度、脉冲频率和占空比对Ga沉积的影响第60-65页
        3.3.4 不同形貌Ga对CIGSe薄膜及器件的影响第65-68页
    第四节 本章小结第68-70页
第四章 电沉积Cu/In/Ga金属预制层三步法硒化的研究第70-108页
    第一节 电沉积Cu/In/Ga金属预制层硒化的研究第70-75页
        4.1.1 Cu/In/Ga金属预制层合金化处理第70-71页
        4.1.2 Cu/In/Ga金属预制层硒化处理第71-75页
    第二节 金属预制层三步法硒化制备单相CIGSe薄膜第75-90页
        4.2.1 第一步低温衬底温度选择依据第75-78页
        4.2.2 第一步低温硒化对Ga扩散的影响第78-88页
        4.2.3 第二步高温无Se热处理对Ga扩散的影响第88-90页
    第三节 薄膜Cu含量对Ga扩散的影响第90-95页
    第四节 三步法硒化过程中MoSe_2形成分析第95-103页
        4.4.1 Ga扩散对MoSe_2形成的影响第97-98页
        4.4.2 薄膜Cu含量对MoSe_2形成的影响第98-103页
    第五节 三步法硒化制备CIGSe薄膜的优化第103-106页
    第六节 本章小结第106-108页
第五章 Cu(In,Ga)Se_2薄膜表面硫化研究第108-124页
    第一节 恒温硫化对Cu(In,Ga)Se_2薄膜的影响第108-113页
    第二节 脉冲式快速热处理表面硫化的研究第113-122页
        5.2.1 脉冲式快速热处理表面硫化工艺可行性分析第113-115页
        5.2.2 脉冲持续时间对CIGSSe薄膜的影响第115-117页
        5.2.3 快速热处理周期数对CIGSSe薄膜的影响第117-121页
        5.2.4 Cu(In,Ga)(S,Se)2薄膜电池的优化第121-122页
    第三节 本章小结第122-124页
第六章 结论与展望第124-129页
    第一节 论文总结第124-127页
        6.1.1 脉冲电沉积制备Cu/In/Ga金属预制层的研究第124-125页
        6.1.2 电沉积Cu/In/Ga金属预制层三步法硒化的研究第125-126页
        6.1.3 Cu(In,Ga)Se_2薄膜表面硫化研究第126-127页
    第二节 展望第127-129页
参考文献第129-140页
致谢第140-141页
个人简历、在学期间发表的学术论文与研究成果第141-142页

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