基于DMD光刻机的关键图像处理技术研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 符号对照表 | 第11-12页 |
| 缩略语对照表 | 第12-16页 |
| 第一章 绪论 | 第16-26页 |
| 1.1 研究背景 | 第16-17页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第17-24页 |
| 1.2.1 DMD光刻技术研究现状 | 第17-21页 |
| 1.2.2 关键图像处理技术研究 | 第21-24页 |
| 1.3 论文的研究内容与创新点 | 第24页 |
| 1.4 论文的内容安排 | 第24-26页 |
| 第二章 步进投影曝光方案及图像拼接处理 | 第26-40页 |
| 2.1 曝光模式 | 第26-28页 |
| 2.1.1 扫描曝光模式 | 第26-27页 |
| 2.1.2 步进投影曝光 | 第27-28页 |
| 2.2 步进式投影曝光关键图像处理技术 | 第28-30页 |
| 2.2.1 图像切割 | 第28页 |
| 2.2.2 图像投影 | 第28-29页 |
| 2.2.3 图像拼接 | 第29-30页 |
| 2.3 步进投影模式拼接误差校正 | 第30-35页 |
| 2.3.1 灰度调制技术 | 第30-32页 |
| 2.3.2 无缝拼接技术 | 第32-34页 |
| 2.3.3 拼接错位校正技术 | 第34-35页 |
| 2.4 仿真实验与分析 | 第35-38页 |
| 2.5 本章小结 | 第38-40页 |
| 第三章 投影镜头畸变的基本原理与模型 | 第40-52页 |
| 3.1 无掩模曝光机投影系统 | 第40-41页 |
| 3.2 理想镜头的线性模型 | 第41-46页 |
| 3.3 镜头畸变类型与原理 | 第46-49页 |
| 3.3.1 径向畸变 | 第46-47页 |
| 3.3.2 离心畸变 | 第47-48页 |
| 3.3.3 薄棱镜畸变 | 第48页 |
| 3.3.4 其他畸变因素 | 第48-49页 |
| 3.4 镜头的畸变模型 | 第49-51页 |
| 3.4.1 鱼眼镜片畸变模型 | 第49-50页 |
| 3.4.2 单参数除式模型 | 第50页 |
| 3.4.3 Brown模型 | 第50-51页 |
| 3.5 本章小结 | 第51-52页 |
| 第四章 投影镜头的标定和畸变校正 | 第52-68页 |
| 4.1 投影系统模型 | 第52-54页 |
| 4.2 相机的标定 | 第54-58页 |
| 4.2.1 相机标定原理 | 第54-56页 |
| 4.2.2 相机畸变参数优化 | 第56-57页 |
| 4.2.3 投影平面的确定 | 第57-58页 |
| 4.3 非测量投影系统标定方法 | 第58-63页 |
| 4.3.1 边缘检测 | 第58-60页 |
| 4.3.2 直线映射不变性 | 第60-61页 |
| 4.3.3 畸变量 | 第61-63页 |
| 4.3.4 模拟退火算法 | 第63页 |
| 4.4 畸变校正流程 | 第63-64页 |
| 4.5 仿真实验结果与分析 | 第64-67页 |
| 4.6 本章小结 | 第67-68页 |
| 第五章 实验结果与分析 | 第68-76页 |
| 5.1 原型机介绍 | 第68-69页 |
| 5.2 投影镜头的标定与畸变校正实验 | 第69-74页 |
| 5.2.1 标定实验系统 | 第69-70页 |
| 5.2.2 实验结果 | 第70-73页 |
| 5.2.3 误差分析 | 第73-74页 |
| 5.3 本章小结 | 第74-76页 |
| 第六章 总结与展望 | 第76-78页 |
| 6.1 工作总结 | 第76页 |
| 6.2 未来展望 | 第76-78页 |
| 参考文献 | 第78-82页 |
| 致谢 | 第82-84页 |
| 作者简介 | 第84-85页 |
