| 中文摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 1.绪论 | 第10-19页 |
| 1.1 DLC薄膜的概述 | 第10页 |
| 1.2 DLC薄膜的结构特点 | 第10-12页 |
| 1.3 DLC薄膜的性能与应用 | 第12-13页 |
| 1.3.1 机械性能及应用 | 第12页 |
| 1.3.2 电学性能及应用 | 第12页 |
| 1.3.3 光学性能及应用 | 第12-13页 |
| 1.3.4 生物医学特性及应用 | 第13页 |
| 1.4 DLC薄膜的沉积机理 | 第13-15页 |
| 1.5 DLC薄膜的制备方法 | 第15-18页 |
| 1.5.1 物理气相沉积技术 | 第16页 |
| 1.5.2 化学气相沉积技术 | 第16-18页 |
| 1.6 本课题的研究内容及意义 | 第18-19页 |
| 1.6.1 本课题的研究内容 | 第18页 |
| 1.6.2 本课题的研究意义 | 第18-19页 |
| 2.实验方案及分析方法 | 第19-31页 |
| 2.1 实验方案 | 第19-23页 |
| 2.1.1 实验设备介绍 | 第19-21页 |
| 2.1.2 实验材料 | 第21-22页 |
| 2.1.3 DLC薄膜的制备过程 | 第22-23页 |
| 2.2 DLC薄膜的分析方法 | 第23-31页 |
| 2.2.1 DLC薄膜的表面形貌分析 | 第23-25页 |
| 2.2.2 DLC薄膜的结构和成份分析 | 第25-27页 |
| 2.2.3 DLC薄膜的性能分析 | 第27-31页 |
| 3.探索实验 | 第31-35页 |
| 3.1 沉积参数 | 第31页 |
| 3.2 实验结果和分析 | 第31-33页 |
| 3.2.1 沉积速率分析 | 第31-32页 |
| 3.2.2 机械性能分析 | 第32-33页 |
| 3.3 本章小结 | 第33-35页 |
| 4.工作压强对DLC薄膜结构与性能的影响 | 第35-49页 |
| 4.1 沉积参数 | 第35页 |
| 4.2 实验结果和分析 | 第35-48页 |
| 4.2.1 沉积速率分析 | 第35-36页 |
| 4.2.2 形貌分析 | 第36-40页 |
| 4.2.3 结构分析 | 第40-42页 |
| 4.2.4 机械性能分析 | 第42-47页 |
| 4.2.5 摩擦性能分析 | 第47-48页 |
| 4.3 本章小结 | 第48-49页 |
| 5.前驱体乙炔气体流量对DLC薄膜结构与性能的影响 | 第49-61页 |
| 5.1 沉积参数 | 第49页 |
| 5.2 实验结果和分析 | 第49-60页 |
| 5.2.1 沉积速率分析 | 第49-50页 |
| 5.2.2 形貌分析 | 第50-54页 |
| 5.2.3 结构分析 | 第54-57页 |
| 5.2.4 机械性能分析 | 第57-60页 |
| 5.2.5 摩擦性能分析 | 第60页 |
| 5.3 本章小结 | 第60-61页 |
| 6.工作电压对DLC薄膜结构与性能的影响 | 第61-72页 |
| 6.1 沉积参数 | 第61页 |
| 6.2 实验结果和分析 | 第61-71页 |
| 6.2.1 沉积速率分析 | 第61-62页 |
| 6.2.2 形貌分析 | 第62-66页 |
| 6.2.3 结构分析 | 第66-68页 |
| 6.2.4 机械性能分析 | 第68-71页 |
| 6.2.5 摩擦性能分析 | 第71页 |
| 6.3 本章小节 | 第71-72页 |
| 结论与展望 | 第72-73页 |
| 参考文献 | 第73-77页 |
| 致谢 | 第77-78页 |
| 作者简介 | 第78-79页 |