| 摘要 | 第4-5页 |
| abstract | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-21页 |
| 1.1 引言 | 第9页 |
| 1.2 BFO简介 | 第9-13页 |
| 1.2.1 晶体结构 | 第10-11页 |
| 1.2.2 物理性能 | 第11-13页 |
| 1.3 薄膜的制备技术 | 第13-15页 |
| 1.3.1 溶胶凝胶法 | 第13-14页 |
| 1.3.2 磁控溅射法 | 第14页 |
| 1.3.3 其他制备技术 | 第14-15页 |
| 1.4 BFO薄膜的研究进展 | 第15-19页 |
| 1.4.1 国内外研究进展 | 第15-18页 |
| 1.4.2 当前存在的主要问题 | 第18-19页 |
| 1.5 本文的研究背景与内容 | 第19-21页 |
| 1.5.1 课题研究背景 | 第19页 |
| 1.5.2 主要研究内容 | 第19-21页 |
| 第二章 BFO薄膜的制备与表征 | 第21-25页 |
| 2.1 BFO薄膜的制备 | 第21-24页 |
| 2.1.1 溶胶凝胶法制备BFO薄膜 | 第21-23页 |
| 2.1.2 磁控溅射法制备BFO薄膜 | 第23-24页 |
| 2.2 BFO薄膜的表征 | 第24-25页 |
| 第三章 BFO薄膜的溶胶凝胶法制备及研究 | 第25-47页 |
| 3.1 引言 | 第25页 |
| 3.2 LNO底电极的制备与研究 | 第25-29页 |
| 3.2.1 LNO底电极的制备流程 | 第25-26页 |
| 3.2.2 退火温度对LNO薄膜的影响 | 第26-27页 |
| 3.2.3 厚度对LNO薄膜的影响 | 第27-29页 |
| 3.3 BFO薄膜的制备与研究 | 第29-33页 |
| 3.3.1 溶剂对BFO薄膜结构的影响 | 第29-30页 |
| 3.3.2 Bi含量对BFO薄膜结构的影响 | 第30-31页 |
| 3.3.3 热解时长对BFO薄膜结构的影响 | 第31-32页 |
| 3.3.4 退火方式对BFO薄膜结构的影响 | 第32-33页 |
| 3.3.5 退火温度对BFO薄膜结构的影响 | 第33页 |
| 3.4 底电极对BFO薄膜取向的影响 | 第33-35页 |
| 3.5 BFO薄膜厚度对BFO薄膜的影响 | 第35-46页 |
| 3.5.1 BFO薄膜厚度对BFO薄膜微结构的影响 | 第36-39页 |
| 3.5.2 BFO薄膜厚度对BFO薄膜电性能的影响 | 第39-40页 |
| 3.5.3 BFO薄膜厚度对BFO薄膜光学性能的影响 | 第40-43页 |
| 3.5.4 退火氛围对BFO薄膜的影响 | 第43-46页 |
| 3.6 本章小结 | 第46-47页 |
| 第四章 掺杂BFO薄膜的制备与性能研究 | 第47-57页 |
| 4.1 引言 | 第47页 |
| 4.2 La_xBi_(1-x)FeO_3薄膜的制备与表征 | 第47-51页 |
| 4.2.1 La_xBi_(1-x)FeO_3薄膜的制备 | 第48页 |
| 4.2.2 La_xBi_(1-x)FeO_3薄膜的微结构 | 第48-49页 |
| 4.2.3 La_xBi_(1-x)FeO_3薄膜的介电性能 | 第49-50页 |
| 4.2.4 La_xBi_(1-x)FeO_3薄膜的漏电流性能 | 第50-51页 |
| 4.2.5 La_xBi_(1-x)FeO_3薄膜的铁电性能 | 第51页 |
| 4.3 BiFe_(1-x)Mn_xO_3薄膜的制备与表征 | 第51-55页 |
| 4.3.1 BiFe_(1-x)Mn_xO_3薄膜的制备 | 第52页 |
| 4.3.2 BiFe_(1-x)Mn_xO_3薄膜的微结构 | 第52-53页 |
| 4.3.3 BiFe_(1-x)Mn_xO_3薄膜的介电性能 | 第53-54页 |
| 4.3.4 BiFe_(1-x)Mn_xO_3薄膜的铁电性能 | 第54-55页 |
| 4.3.5 BiFe_(1-x)Mn_xO_3薄膜的漏电流性能 | 第55页 |
| 4.4 本章小结 | 第55-57页 |
| 第五章 BFO薄膜的磁控溅射法制备及研究 | 第57-73页 |
| 5.1 引言 | 第57-58页 |
| 5.2 BFO薄膜的制备工艺研究 | 第58-63页 |
| 5.2.1 沉积温度对BFO薄膜结构的影响 | 第58-59页 |
| 5.2.2 靶间距对BFO薄膜结构的影响 | 第59-60页 |
| 5.2.3 沉积气压对BFO薄膜结构的影响 | 第60-61页 |
| 5.2.4 沉积功率对BFO薄膜的影响 | 第61-63页 |
| 5.3 厚度对BFO薄膜的影响 | 第63-68页 |
| 5.3.1 厚度对BFO薄膜结构的影响 | 第64-66页 |
| 5.3.2 厚度对BFO薄膜性能的影响 | 第66-68页 |
| 5.4 衬底对BFO薄膜的影响 | 第68-72页 |
| 5.4.1 衬底对BFO薄膜结构的影响 | 第69-70页 |
| 5.4.2 衬底对BFO薄膜性能的影响 | 第70-72页 |
| 5.5 本章小结 | 第72-73页 |
| 第六章 总结与展望 | 第73-75页 |
| 6.1 结论 | 第73-74页 |
| 6.2 创新点 | 第74页 |
| 6.3 展望 | 第74-75页 |
| 参考文献 | 第75-81页 |
| 附录1 攻读硕士学位期间撰写的论文 | 第81-82页 |
| 附录2 攻读硕士学位期间申请的专利 | 第82-83页 |
| 致谢 | 第83页 |
