晶体硅中的铁杂质及相关复合体的研究
| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 第一章 序言 | 第12-16页 |
| 1.1 研究的背景和意义 | 第12-13页 |
| 1.2 本研究的目的和内容 | 第13-14页 |
| 1.3 本论文的结构安排及内容提要 | 第14-16页 |
| 第二章 文献综述 | 第16-50页 |
| 2.1 引言 | 第16-17页 |
| 2.2 硅晶体中的金属铁 | 第17-30页 |
| 2.2.1 金属铁的来源 | 第17-21页 |
| 2.2.2 金属铁的固溶度和扩散系数 | 第21-23页 |
| 2.2.3 铁在硅中的存在形态 | 第23-25页 |
| 2.2.4 铁对器件性能的影响 | 第25-28页 |
| 2.2.5 降低铁对器件性能的影响 | 第28-30页 |
| 2.3 铁-受主对 | 第30-37页 |
| 2.3.1 铁-受主对的结构 | 第31-32页 |
| 2.3.2 铁和铁-受主对的电学性质 | 第32-33页 |
| 2.3.3 铁-受主对的形成和分解 | 第33-35页 |
| 2.3.4 铁-受主对的热力学平衡 | 第35-37页 |
| 2.4 间隙铁浓度测定 | 第37-43页 |
| 2.4.1 测试原理 | 第37-39页 |
| 2.4.2 修正因子C | 第39-41页 |
| 2.4.3 FeB对能级测定 | 第41-43页 |
| 2.5 铁硼对的非热分解 | 第43-46页 |
| 2.5.1 铁硼对的非热分解 | 第43-44页 |
| 2.5.2 复合增强理论 | 第44-45页 |
| 2.5.3 电荷转移扩散理论 | 第45-46页 |
| 2.6 掺杂剂对铁和铁-受主对的影响 | 第46-48页 |
| 2.6.1 第四主族元素锗 | 第46-47页 |
| 2.6.2 施主-磷 | 第47-48页 |
| 2.7 评论及存在的问题 | 第48-50页 |
| 第三章 实验样品和研究方法 | 第50-56页 |
| 3.1 实验样品和制备 | 第50-51页 |
| 3.1.1 样品类型 | 第50-51页 |
| 3.1.2 样品制备及处理方法 | 第51页 |
| 3.2 测试方法和设备 | 第51-56页 |
| 3.2.1 微波光电导衰减仪 | 第51-54页 |
| 3.2.2 第一性原理计算 | 第54-56页 |
| 第四章 锗对铁-受主对的影响 | 第56-76页 |
| 4.1 引言 | 第56-57页 |
| 4.2 实验 | 第57-58页 |
| 4.3 锗对形成FeB对的影响 | 第58-63页 |
| 4.3.1 FeB对的形成速率常数 | 第58-60页 |
| 4.3.2 锗对FeB对的形成过程的影响 | 第60-63页 |
| 4.4 锗对分解FeB对的影响 | 第63-67页 |
| 4.4.1 锗对FeB对的热力学平衡的影响 | 第63-64页 |
| 4.4.2 锗对FeB对的分解过程的影响 | 第64-67页 |
| 4.5 锗对间隙铁扩散的影响 | 第67-73页 |
| 4.5.1 Ge_x-B复合体 | 第67-70页 |
| 4.5.2 Ge对Fe_i扩散势垒的影响 | 第70-72页 |
| 4.5.3 FeB对的反应动力学图像 | 第72-73页 |
| 4.6 锗对FeGa对的影响 | 第73-75页 |
| 4.7 小结 | 第75-76页 |
| 第五章 磷对铁-受主对的影响 | 第76-96页 |
| 5.1 引言 | 第76-77页 |
| 5.2 实验 | 第77-78页 |
| 5.3 硼-磷复合体 | 第78-83页 |
| 5.3.1 B-P复合体的结构 | 第78-80页 |
| 5.3.2 B-P复合体的浓度 | 第80-83页 |
| 5.4 FeB-P复合体 | 第83-86页 |
| 5.4.1 FeB-P复合体的结构 | 第83-85页 |
| 5.4.2 FeB-P复合体和FeB对 | 第85-86页 |
| 5.5 p型补偿晶体中的FeB对 | 第86-90页 |
| 5.5.1 FeB对的表观结合能 | 第86-89页 |
| 5.5.2 FeB-P复合体中的结合能 | 第89-90页 |
| 5.6 n型补偿硅中的FeB对 | 第90-94页 |
| 5.6.1 FeB对光分解 | 第90-92页 |
| 5.6.2 FeB的形成 | 第92-94页 |
| 5.7 小结 | 第94-96页 |
| 第六章 强光分解铁硼对 | 第96-106页 |
| 6.1 引言 | 第96-97页 |
| 6.2 实验 | 第97页 |
| 6.3 光强度对FeB对光分解的影响 | 第97-103页 |
| 6.3.1 FeB对的双指数光分解 | 第97-99页 |
| 6.3.2 光强度和分解速率常数 | 第99-102页 |
| 6.3.3 光强度和分解比例系数 | 第102-103页 |
| 6.4 FeB对的光分解机制 | 第103-104页 |
| 6.5 小结 | 第104-106页 |
| 第七章 总结 | 第106-108页 |
| 参考文献 | 第108-122页 |
| 致谢 | 第122-124页 |
| 个人简介 | 第124-126页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第126页 |
