微机械电容式加速度计检测电路的研究
| 内容提要 | 第1-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-15页 |
| ·引言 | 第7页 |
| ·MEMS微加速度传感器 | 第7-13页 |
| ·国内外研究现状 | 第7-9页 |
| ·实际应用 | 第9-11页 |
| ·分类和特点 | 第11-12页 |
| ·重要的特性指标 | 第12-13页 |
| ·本论文研究意义及研究的主要内容 | 第13-15页 |
| 第二章 电容式微加速度传感器的测控原理 | 第15-25页 |
| ·工作原理 | 第15-17页 |
| ·基本结构 | 第17-20页 |
| ·变间距式 | 第17-19页 |
| ·变面积式 | 第19-20页 |
| ·常用电容检测电路 | 第20-25页 |
| ·开关电容检测电路 | 第20-21页 |
| ·AC桥式检测电路 | 第21-22页 |
| ·谐振式检测电路 | 第22-23页 |
| ·电荷放大检测电路 | 第23-25页 |
| 第三章 检测电路的设计和研究 | 第25-44页 |
| ·检测电路总体方案 | 第25-43页 |
| ·电源电路部分 | 第26-27页 |
| ·载波发生电路 | 第27-34页 |
| ·电荷放大电路设计 | 第34-36页 |
| ·带通滤波器设计 | 第36-38页 |
| ·移相电路和相敏解调电路设计 | 第38-40页 |
| ·低通滤波电路设计 | 第40-41页 |
| ·电压转换电路设计 | 第41-42页 |
| ·数据采集电路设计 | 第42-43页 |
| ·本章小结 | 第43-44页 |
| 第四章 检测电路的调试及性能分析 | 第44-56页 |
| ·电路的软件仿真测试 | 第44-49页 |
| ·电源电路的模拟仿真 | 第44-45页 |
| ·前端放大电路模拟仿真 | 第45-47页 |
| ·末端电路的模拟仿真 | 第47-49页 |
| ·检测电路制作及实验结果 | 第49-52页 |
| ·加速度计性能测试结果 | 第52-56页 |
| 第五章 总结和展望 | 第56-58页 |
| 参考文献 | 第58-61页 |
| 致谢 | 第61-62页 |
| 摘要 | 第62-64页 |
| Abstract | 第64-66页 |
