| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-15页 |
| 1.1 研究背景与意义 | 第9-10页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第10-13页 |
| 1.3 论文的主要工作 | 第13-15页 |
| 2 微夹钳的结构改进设计及静动态特性分析 | 第15-21页 |
| 2.1 微夹钳结构的改进设计 | 第15-16页 |
| 2.2 微夹钳的静动态特性有限元分析 | 第16-20页 |
| 2.2.1 有限元分析模型 | 第16页 |
| 2.2.2 静力分析 | 第16-17页 |
| 2.2.3 模态分析 | 第17-19页 |
| 2.2.4 频率响应分析 | 第19页 |
| 2.2.5 阶跃响应分析 | 第19-20页 |
| 2.3 本章小结 | 第20-21页 |
| 3 微夹钳输出自感知方法的实现 | 第21-30页 |
| 3.1 钳指位移与夹持力的自感知原理 | 第21-24页 |
| 3.2 自感知电路设计 | 第24-27页 |
| 3.3 自感知实验验证 | 第27-29页 |
| 3.3.1 实验装置 | 第27-28页 |
| 3.3.2 实验结果 | 第28-29页 |
| 3.4 本章小结 | 第29-30页 |
| 4 微夹钳的前馈控制 | 第30-42页 |
| 4.1 基于改进 PI 模型的微夹钳迟滞建模 | 第30-36页 |
| 4.1.1 PI 模型的描述 | 第30-32页 |
| 4.1.2 PI 模型的改进 | 第32-33页 |
| 4.1.3 微夹钳迟滞模型的建立 | 第33-36页 |
| 4.2 基于改进 PI 模型的微夹钳前馈控制器设计 | 第36-37页 |
| 4.3 前馈控制的实验验证 | 第37-41页 |
| 4.3.1 阶跃响应 | 第37-38页 |
| 4.3.2 三角波跟踪 | 第38-40页 |
| 4.3.3 任意波形跟踪 | 第40-41页 |
| 4.4 本章小结 | 第41-42页 |
| 5 微夹钳的反馈控制 | 第42-50页 |
| 5.1 基于改进 PID 的微夹钳反馈控制器设计 | 第42-44页 |
| 5.1.1 PID 控制原理 | 第42页 |
| 5.1.2 基于改进 PID 的微夹钳反馈控制器设计 | 第42-44页 |
| 5.1.3 PID 控制器的参数整定 | 第44页 |
| 5.2 PID 反馈控制的实验验证 | 第44-49页 |
| 5.2.1 阶跃响应 | 第45-46页 |
| 5.2.2 三角波跟踪 | 第46-48页 |
| 5.2.3 任意波形跟踪 | 第48-49页 |
| 5.3 本章小结 | 第49-50页 |
| 6 微夹钳的复合控制 | 第50-56页 |
| 6.1 微夹钳复合控制器的设计 | 第50-51页 |
| 6.2 复合控制的实验验证 | 第51-55页 |
| 6.2.1 阶跃响应 | 第51-52页 |
| 6.2.2 三角波跟踪 | 第52-54页 |
| 6.2.3 任意波形跟踪 | 第54-55页 |
| 6.3 本章小结 | 第55-56页 |
| 7 结论与展望 | 第56-58页 |
| 7.1 结论 | 第56页 |
| 7.2 进一步工作展望 | 第56-58页 |
| 参考文献 | 第58-61页 |
| 在校期间研究成果 | 第61-62页 |
| 致谢 | 第62页 |